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1.
随着超大规模集成电路的发展,器件特征尺寸不断缩小,必然会出现Cu互连扩散阻挡层厚度无法进一步减小等瓶颈问题。因此,开发新型无扩散阻挡层Cu合金薄膜(Cu种籽层)势在必行。该新型互连结构在长时间的中高温(400~500℃)后续工艺实施过程中,需同时具备高的稳定性(不发生互扩散反应)和低的电阻率。基于此,首先综述了目前无扩散阻挡层结构的研究现状及问题,然后对基于稳定固溶体团簇模型设计制备的无扩散阻挡Cu-Ni-M薄膜的研究工作进行了梳理,通过多系列薄膜微观结构、电阻率及稳定性的对比,深入探讨了第三组元M的选择原则及其对薄膜热稳定性的影响。为进一步验证稳定固溶体团簇模型的有效性,对第二组元的变化进行了相关讨论。结果证实,选取原子半径略大于Cu、难扩散且难溶的元素作为第三组元M,薄膜表现出良好的扩散阻挡能力;当M/Ni=1/12,即合金元素完全以团簇形式固溶于Cu基体时,薄膜综合性能达到最优,能够满足微电子行业的要求。所有研究表明,稳定固溶体团簇模型在无扩散阻挡层Cu合金薄膜的成分设计方面十分有效,该模型也有望在耐高温Cu合金及抗辐照材料成分设计方面推广使用。 相似文献
2.
花生过敏能引起荨麻疹、呕吐甚至休克等症状,通常是终生性过敏。本研究运用加热处理、半胱氨酸还原对Ara h2进行单独和复合处理,采用圆二色谱、紫外扫描光谱、间接竞争酶联免疫吸附法分别检测蛋白加工前后的结构与抗原性变化。结果显示,单一的加热和半胱氨酸还原处理过的蛋白结构与抗原性只发生部分变化。而复合处理中,在加热条件下,半胱氨酸还原蛋白的能力明显增强,还原后的蛋白二级结构与三级结构发生大幅变化,抗原性显著降低。研究结果表明,二硫键对于蛋白Ara h2结构稳定具有重要作用,二硫键被还原和加热过程破坏后,蛋白的抗原性和结构即发生重大变化。还原协同加热处理有望大幅改善2S球蛋白的结构和致敏性,可以作为蛋白脱敏加工的备选方法。 相似文献
3.
施工企业以"粗放型"管理为特点,随着企业规模的不断扩大,企业运作中的风险也逐步显现,这对施工企业的内部审计管理带来了新的课题。通过几年来内部审计管理的实践和探索,对如何解决施工企业内部审计管理中的问题提出建议和措施。 相似文献
4.
文章在分析了HGIS在变电站主接线中使用的优点,并对500kV变电站HGIS主接线解闭锁控制回路中存在的隐患进行了分析,提出改进措施. 相似文献
5.
系统地分析了输电线路重合闸暂态行波的产生机理和传播特性,在此基础上提出利用重合闸暂态行波的输电线路故障测距原理,即E型现代行波测距原理,并详细分析了这种原理的4种运行模式,即标准模式、扩展模式1、扩展模式2和综合模式。然后,对故障点反射波和对端断路器触头反射波的识别问题进行了初步探讨。EMTP仿真和实测暂态波形分析表明,利用重合闸暂态行波的输电线路故障测距原理是可行的,并且通过与其他行波测距原理配合使用,能够提高永久性故障的测距可靠性。 相似文献
6.
如何建立生态农业观光园的环境适宜性评价,了解各景观元素在生态农业观光园中的所发挥的功能与作用,建立完善的农业观光园景观评价体系。本文运用SD法,选取四个样本案例进行景观评价分析,并依此给出评价结果,论证评价系统的合理性。 相似文献
7.
8.
9.
旋转轴套在超深井工作时,其井下流动是三维湍流流动,旋转轴套的旋转和表面曲率效应以及随之而来的哥氏力和离心力,使流场在超深井的流动中极其复杂,同时,由于流体介质泥浆属于液固两相流,更致使内部流场测试困难,而且超深井中的工况在使用常规方法已很难得到较准确的数据。为此,将计算流体力学软件F luent应用于超深井下流场的模拟,基于Navier-Stokes方程和Reynolds应力方程模型,建立多种仿真模型,在相同条件下,使用CFD仿真软件F luent模拟仿真的不同结果,优化与旋转轴套叶片设计相关的几何参数,提高了其工作效率和耐用性,从而保证叶轮具有良好的性能。 相似文献
10.
目前我国水权交易体系逐渐成熟,但水权交易中的核心问题即水权交易定价机制尚未形成合理标准。为了给我国水权交易价格改革提供理论依据,探索合理的水权交易价格,研究水权交易市场发展中可能出现的问题,本文借鉴澳大利亚水市场发展经验,选取2008年7月到2019年7月澳大利亚墨累-达令流域的地表水水权交易价格数据进行研究。在构建两区制、三阶滞后的马尔科夫区制转换模型的基础上,研究墨累-达令流域的水权交易价格在不同区制下的波动特征。研究结果表明:当地水权交易价格存在高波动和低波动状态,两种状态持续时间大致相同,且价格波动行为具有惯性,波动状态的变化不仅受自然条件变化影响,更和澳大利亚政府政策的实施密切相关。通过MS-VAR模型计算水权交易价格的预测值为交易双方和政府决策提供参考,政府应健全水权交易价格监督预警机制,保障水权交易价格的合理性。 相似文献