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1.
2.
采用微机电系统技术制作了螺线管电感.为了获得高电感量和Q值,采用UV-LIGA、干法刻蚀、抛光和电镀技术,研制的电感大小为1500μm×900μm×70μm,线圈匝数为41匝,宽度为20μm,线圈之间的间隙为20μm,高深宽比为3.5:1.测试结果表明电感量最大值为6.17nH,Q值约为6.  相似文献   
3.
Recently ,manymaterialresearchershavecometorealizethattheelectroniccharacterhasadecisionalroleonmaterialpropertiesandmicrostructure[1~ 3] .Theseworksrevealanewmechanismtomaterialbehaviorandanewun derstandingelectrontheoryofalloy .Addition aly,theeffectofane…  相似文献   
4.
利用MEMS工艺以及硅的湿法刻蚀工艺制作了一种硅衬底镂空结构的圆形射频微电感,并研究了硅衬底背面减薄对射频微电感性能的影响,结果表明:微电感硅衬底经过局部刻蚀减薄后其自谐振频率上升,电感量的频率稳定性提高,而其最大Q值下降。  相似文献   
5.
利用MEMS工艺制作了一种双层悬空结构的圆形片状微电感,并研究了其在S波段的性能。双层微电感的底层线圈制作在玻璃衬底平面上,外径为500μm,匝数为2,导线宽度70μm,导线间距15μm,顶层线圈的悬空高度为20μm,顶层线圈的匝数为1.5,其它结构参数与底层线圈相同。研究表明,所制作的双层结构微电感在2GHz~4GHz时其电感量达到2.2nH,其品质因数达到22。在制作过程中首次引入的光刻胶抛光工艺大大简化了微电感的制作过程。  相似文献   
6.
旨在探究初生婴幼儿肠道双歧杆菌的种群多样性及其丰度,为婴幼儿健康评价及营养补充设计提供参考依据。本研究利用末端限制性片段长度多态性分析技术与实时荧光定量PCR技术探究陕西关中地区0~6月龄(Ⅰ组)、6~12月龄(Ⅱ组)、12~36月龄(Ⅲ组)婴幼儿肠道中双歧杆菌的种群组成与丰度。结果表明:在24份婴幼儿粪便样品中,3组(阶段)样品中均检出长双歧杆菌、短双歧杆菌、两歧双歧杆菌、动物双歧杆菌及假链状双歧杆菌5个菌种,且在第Ⅲ组样品中还检测到青春双歧杆菌;3组样品中双歧杆菌属的DNA含量均在1010 copies/g左右,Ⅰ组样品中含量(1010.44 copies/g)显著高于Ⅱ、Ⅲ组样品(p<0.05)。Ⅰ、Ⅱ组样品中长双歧杆菌和短双歧杆菌的丰度较高,Ⅰ组中对应的丰度分别为30.12%、38.02%,Ⅱ组中对应的丰度分别为33.89%、43.65%;Ⅲ组中丰度前3位的菌种是长双歧杆菌、短双歧杆菌和两歧双歧杆菌,分别为23.99%、19.95%、24.55%。3个阶段的婴幼儿肠道中双歧杆菌的种群组成差异不明显,但丰度表达存在一定差异(p<0.05)。  相似文献   
7.
新型悬空结构射频微电感的制作与测试   总被引:1,自引:0,他引:1  
利用MEMS(Micro Electro-Mechanical System:微机电系统)工艺中的牺牲层技术制作了一种新型悬空结构微电感,在此悬空结构中,微电感的线圈制作在与衬底平行的平面上,线圈与衬底之间有立柱支撑;此新型微电感的制作工艺流程简单,与集成电路工艺相兼容,且其高频性能较好。并对此结构微电感的性能进行了测试,测试频率范围在0.05~10 GHz之间,结果表明:当悬空结构微电感的悬空高度为20 靘,工作频率在3~5 GHz范围内时,其电感量达到4 nH,其Q值最大可达到22。  相似文献   
8.
超滤膜污染的形成和机理初探   总被引:1,自引:0,他引:1  
通过建立的数学模型来研究超滤膜污染的机理,对膜污染进行了模拟和假设,并研究了膜污染产生的原因,最后通过举例讨论了去除膜污染的方法。  相似文献   
9.
Asoneoftheexternalparameterswhichaffectthematerialproperties ,theeffectofmagneticfieldonatomshasbeenstudiedandappliedinmanyareasandmakesmuchprogressinmanysubjects ,suchassolidphysics ,surfacephysics ,andplasmaphysics .ThematuretechnologyMCZinsemiconductor…  相似文献   
10.
为了获得高性能MEMS螺线管微电感,考虑了几何结构参数对微电感性能的影响,用HFSS软件对特定结构的微电感进行仿真,仿真结果与实验研制的测量结果基本相符.测试结果表明微电感在较宽的工作频率范围内具有高Q值,可以应用在无线通讯领域.  相似文献   
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