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同心扫描法制作凹球面等距网栅的误差分析 总被引:1,自引:0,他引:1
纬线与纬线相交可形成球面等距网栅,而采用"同心扫描"的运动方式可在凹球面上生成纬线。"同心扫描"要求直写物镜光轴、直写物镜水平转轴、工件回转轴和工件分度轴四轴交于工件凹面球心。采用两两相交误差几何分析的方法,得到了同心误差与离焦量和栅距误差的变化关系:随着同心误差增加,系统离焦量和栅距误差也增加,且二者的变化趋势基本一致。因为网栅线宽一般要求达到微米量级,与之匹配的栅距则往往为几百微米,所以栅距误差与栅距相比可以忽略,系统离焦量对网栅线宽的影响却必须认真考虑。采用几何光学基本公式对物镜系统的进一步分析表明,为了制作细且均匀的网栅线条,必须采用小光斑,而小光斑对应的焦深也小,从而要求离焦量小,对同心误差要求严格;反之,则可放宽对同心误差的要求。 相似文献
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Y形和Y环形单元特性的实验对比研究 总被引:11,自引:6,他引:11
采用镀膜和光刻技术设计并制备出了2种衬底厚度不同的Y孔单元和Y环孔单元的FSS,在0°和45°入射角下分不同的极化波进行了测试,经对比研究发现,在大角度入射下Y环单元FSS比Y孔单元FSS有更为稳定的中心频率,更窄的带宽;Y环单元FSS对垂直和水平极化波的适应性更强,滤波特性较Y孔单元FSS更明显;介质厚度的变化对Y孔中心频率、带宽的影响要比Y环单元FSS的大得多。所以,从中心频率、带宽随介质衬底厚度、入射角度、不同极化方式的变化情况看,Y环单元比Y孔有更稳定的性能。 相似文献
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基于模式匹配分析技术,对由2种尺寸不同的十字形单元组合成的十字形复合单元频率选择表面进行了理论分析;利用十字形孔径单元的电场基函数得出十字形复合孔径单元的电场基函数,计算结果表明,这种复合单元频率选择表面具有两个频段,在微波、红外乃至可见光波段上将有广泛的应用. 相似文献
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为了改善厚屏频率选择表面(FSS)的滤波特性,实现FSS在雷达天线罩上的应用,设计了具有圆孔单元的厚屏FSS结构,并将其单元内填充介质,制备出了相应的实验件。理论分析时,首先建立等效问题;接着用Floquet定理将无限大厚屏FSS上所有阵列单元的场展开为无穷多个平面电磁波;然后在单元边界处强加边界条件;最后用矩量法求解等效的磁场积分方程。在微波暗室测试后,发现测试值与计算值基本一致。结果表明:中心频率的变化主要取决于单元间距、入射角和介电常数等3个参数;其中,当单元间距由30mm增加到36mm,电磁波的入射角由10°增加到30°,填充介质的介电常数由2.5增加到7.0时,中心频率分别减小了2.1,1.5,1.9GHz;另外,单元直径增大使得带宽增加,当单元直径由14mm增加到17mm,带宽增加了1.2GHz。可以看出,改善厚屏FSS的传输特性是多参数优化的问题,如果合理选择填充介质并适当选取其他参数,能够获得理想的传输特性。 相似文献
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一种双曲率雷达罩的频率选择表面分片设计 总被引:8,自引:0,他引:8
提出并发展了一种适于任意双曲率曲面雷达罩的FSS设计方法。基于周期矩量法快速评估FSS的频率响应。经过仿真和优化设计出初步的FSS参数,制作了等效FSS平板样件。根据等效平板频率响应的测试结果及实际雷达罩的双曲率曲面外形特点对FSS参数进行修正。沿母线方向将雷达罩内表面分段划分.每一段采用直锥面进行曲面逼近并展开为分片的扇形平面,在每一分片平面上按照设计参数排布FSS单元,制作了曲面FSS雷达罩。试验测试显示,采用局部平面一曲面修正分片方法所设计的FSS雷达罩满足预期的各项性能指标要求。 相似文献
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光学薄膜在倾斜入射时可等效为一线偏振器和一位相延迟器,这一特性可以用琼斯算法进行描述。利用薄膜的这一特性可以消除光学系统中不想要的偏振效应以保持光的偏振状态,也可以用来制作薄膜位相延迟片。首先介绍了薄膜偏振特性分析的琼斯矩阵理论,并结合90°束旋转环行非稳腔中倒向波的抑制,对薄膜位相延迟器的应用进行了举例说明,最后利用TFCalc3.5薄膜设计软件优化设计出了45°入射时,在1315nm处具有90°位相延迟的全介质薄膜位相延迟器。 相似文献
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金属网栅结构参数设计与制作 总被引:12,自引:5,他引:7
研究了金属网栅结构参数对其光电特性的影响,并通过工艺实验结果测试,验证了分析计算成果。实验采用清洗、涂胶、光刻、显影、镀膜、去胶、电镀工艺流程,并用激光直写曝光代替掩模投影曝光。在MgF2基底上制作出线宽7 μm,周期400 μm的金属网栅,在3~5 μm波段上透过率大于75%(基底透过率为83%)、电磁屏蔽效率大于8 dB。结果表明:采用等效电路模型分析雷达波垂直入射时金属网栅屏蔽效率;用等效膜理论分析斜入射对屏蔽效率的影响是有效和简便的,通过遮拦比分析中心零级能量变化来说明金属网栅对红外透过的影响;金属网栅的光电特性的矛盾可以通过减小网栅线宽与周期的比值来解决,网栅周期与屏蔽波段密切相关,因此减小线宽对于满足其光电性能要求更为重要。 相似文献