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应用于扩散工艺中的闭管扩散技术   总被引:1,自引:0,他引:1  
介绍了一种用于晶体硅太阳能电池p-n结制造的闭管扩散技术,它主要是针对目前使用的开管扩散技术的不足而提出的,实践证明,该技术不仅扩散均匀性优,而且节源、节能、环保,同时它还可以运用于其它半导体材料的扩散掺杂工艺。  相似文献
2.
综述了晶体硅太阳能电池生产线的技术现状,并结合晶体硅电池技术的未来发展方向,分析了晶体硅太阳能电池生产线技术的发展趋势,认为创新工艺及设备、高产能及高效自动化、监控与决策智能化是未来晶体硅太阳能电池生产线的三大主要特征,在此基础上,提出了一种晶体硅太阳能电池智慧生产线,简要介绍了其结构组成,特点及实现。1  相似文献
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