测量时延在线估计与批间控制器协同设计

批间控制是半导体批次生产过程中常用算法,其关键问题在于能够及时获取上一批次的制程输出,受测量手段及其成本限制,实际的生产制程很难满足这一要求.为此,本文提出一种基于贝叶斯统计分析的测量时延估计算法.在分析晶圆质量与实测时延、估计时延、以及制程漂移之间的逻辑关系的基础上,并将晶圆的质量信息按加工时间顺序划分两个相邻的滚动时间窗口.基于贝叶斯后验概率函数,及时捕获后一个滚动时间窗口内过程输出发生漂移的概率,从而判断是否有测量时延发生,并估算该时延大小.在此基础上,给出批间控制器的测量时延补偿策略,及时调整制程的控制量,提高晶圆的加工品质.仿真结果验证所提出算法的有效性.     

论现代极少主义风格的室内设计

极少主义缘起于20世纪50年代中期的美国ABC硬边艺术，产生的直接原因是为了反对当时画坛崛起的抽象表现主义和波普主义.随后，这场新的艺术运动影响到了整个设计艺术领域.其中，在室内设计界就出现了“光洁派”(又称极少主义)，它旨在运用现代材料和现代加工工艺，对空间进行简     

基于碳纳米线的三维编织复合材料制件内部缺陷检测研究

使用碳纳米线作为传感器对三维编织复合材料制件内部缺陷进行无损检测。描述了碳纳米线嵌入三维编织复合材料制件的基本方法,分析了碳纳米线的力学特性。测试结果表明,嵌入的碳纳米线电阻与三维编织复合材料制件的拉伸应变具有很好的线性关系。并采用电阻响应面理论分析了三维编织复合材料制件的内部缺陷,其结果与扫描电镜显示的结果一致,说明碳纳米线应用于三维编织复合材料制件无损检测可行。该方法为三维编织复合材料制件的无损检测提供了一种新技术。     

浅谈地质勘探系统人才资源的开发与利用

就地质勘探系统人才缺乏与断层的现状,提出了开发与利用人才资源的途径.     

化学需氧量和总磷对猪场废水产磷化氢的影响

以猪场原液和沼液作为研究对象,在遮光密闭的环境中,于厌氧序批式反应器(ASBR)内利用钼酸铵分光光度法分别测定单位时间内不同COD和TP浓度下PH3的产生量。结果表明:猪场原液和沼液PH3释放量分别达0.048、0.033 mg/h;COD和TP都能促进磷化氢的产生。     

阵列波导光栅插入损耗的降低

阵列波导光栅（AWG Arrayed Waveguide Grating）是实现多通道密集波分复用（DWDM Dense Wavelength Division Multiplexing)光网络的理想器件,插入损耗是它的一个重要性能指标。本文介绍了多种减小AWG插入损耗的方法,并在此基础上,分析了如何使用楔形波导结构来降低模式失配所导致的耦合损耗。这种方法可以在不增加器件制作难度的同时大大降低AWG的插入损耗,并且适用于各种材料和结构的AWG器件设计。     

基于碳纳米传感器的复合材料内部缺陷测量及误差估计

结合三维编织复合材料制造工艺,提出了利用碳纳米线传感器对三维编织复合材料试件缺陷检测的应用方法。论述了碳纳米线传感器嵌入三维编织复合材料预制件的方式,分析了碳纳米线传感器的力学特性。分析了编织角对嵌入碳纳米线传感器的影响。系统使用传统的应变放大器测量电阻变化。最后,应用响应面法对实验结果进行统计分析。实验表明,本实验的研究方法成功地实现了三维编织复合材料内部缺陷位置和大小的估计。     

小城镇建设的理论思考与实践参与

本作作为农学院邓小平理论研究班学员，以邓小平理论为指导，探讨了中国农村小城镇建设理论与实践两方面课题。     

化学合成制药废水处理工艺设计实例

采用微电解/芬顿/水解酸化/接触氧化/絮凝沉淀工艺处理化学合成类制药废水,处理规模为150 m3/d。工程运行结果表明,该工艺处理效率高,最终出水COD、BOD5、氨氮、SS分别低于70、20、15、40 mg/L,达到《化学合成类制药工业水污染物排放标准》(GB 21904—2008)。     

锥形瓶振荡法和发酵管法测定麦汁最终发酵度的比较

准确测定麦汁的最终发酵度，对大生产中糖化和发酵工艺的调整与控制，有着非常重要的指导意义。