基于状态空间法的MEMS静电驱动控制方案

采用状态空间分析法,研究MEMS静电驱动平行板结构的运动特性,实现了平行板机械子系统和静电子系统状态空间矩阵参数分离,制定了状态反馈控制方案以改善平行板系统的运动特性,在Simulink仿真平台上完成了控制方案的计算机仿真实验。结果表明,状态反馈控制方案能较好地提高系统的操作精度并改善瞬时特性。     

状态反馈法改善MEMS静电驱动结构瞬时特性的研究

MEMS静电驱动结构的瞬时特性受其结构本身机械动态特性的影响,自然阻尼过高或者过低都可能会让系统发生操作偏差.利用状态空间分析法分析了MEMS静电驱动结构的工作机理.基于状态反馈原则设计了一种输入量控制方法,即根据系统要求指标来配置极点,实现最优控制.仿真实验结果证明,该方法能提高系统的瞬时特性.     

基于状态空间法的MEMS静电驱动控制方案

采用状态空间分析法，研究MEMS静电驱动平行板结构的运动特性，实现了平行板机械子系统和静电子系统状态空间矩阵参数分离，制定了状态反馈控制方案以改善平行板系统的运动特性，在Simulink仿真平台上完成了控制方案的计算机仿真实验。结果表明，状态反馈控制方案能较好地提高系统的操作精度并改善瞬时特性。     

基于状态空间法的MEMS静电驱动控制方案

采用状态空间分析法,研究MEMS静电驱动平行板结构的运动特性,实现了平行板机械子系统和静电子系统状态空间矩阵参数分离,制定了状态反馈控制方案以改善平行板系统的运动特性,在Simulink仿真平台上完成了控制方案的计算机仿真实验.结果表明,状态反馈控制方案能较好地提高系统的操作精度并改善瞬时特性.