硅圆片表面活化工艺参数优化研究

利用正交实验,对单晶硅表面活化工艺中重要参数对活化效果的影响进行了研究,并优化了工艺.实验针对RCA活化溶液处理工艺的特点,选择溶液配比、处理时间和温度3个重要因素为研究对象,以30%盐水为测试液,以接触角为指标,评估了这3个因素对活化效果的影响规律.对实验结果的分析表明,在此三因素中,活化温度与活化效果的关系最密切,...     

基于小波一阶灰度矩向量和神经网络的旋转机械故障诊断的研究

在旋转机械轴系振动故障模拟试验的基础上,对大量故障模拟试验数据进行计算,建立了典型故障的小波一阶灰度矩向量样本,将其作为概率神经网络的输入进行故障诊断研究。结果表明,基于一阶灰度矩向量的概率神经网络可实现对训练样本100%的正确识别率,对陌生样本的正确识别率也超过75%。可见,概率神经网络综合了Bayes分类器和神经网络的优势,利用概率神经网络融合信号的一阶灰度矩向量特征实现旋转机械轴系故障模式识别是一种可行有效的方法。     

铝/镍/铜UBM厚度对SnAgCu焊点的力学性能及形貌影响

研究了倒装芯片中UBM制备和焊球回流工艺流程。通过改变阻挡层Ni和浸润层Cu的厚度,结合推拉力测试实验,探究了SnAgCu焊点剪切强度的变化规律。研究结果表明,UBM中阻挡层Ni对SnAgCu焊点的力学性能影响最大,而浸润层Cu厚度的增加也能提高SnAgCu焊点的力学性能。进一步对推拉力实验后的焊点形貌进行了SEM观察和EDS分析,得到了焊盘剥离、脆性断裂、焊球剥离、韧性断裂四种不同的焊点失效形式,代表着不同的回流质量,而回流质量主要由UBM的成分和厚度决定。研究结果为倒装焊工艺的优化提供了理论指导。     

基于LabVIEW的转子偏转修正电磁控制系统

结合虚拟仪器技术和电磁控制技术,以转子为研究对象,对转子的轴心轨迹进行采集、分析完成后,通过对转子进行电磁控制并加上相应的PID算法,调整主轴的偏心,并在此基础上开发了基于LabVIEW的转子偏转修正的电磁控制系统,实现了实时转子轴心轨迹的数据采集、信号分析处理、PID控制和电磁控制等功能,为大型旋转机械的在线监测控制系统的开发提供技术参考.     

玻璃中介硅圆片键合研究

研究了玻璃中介圆片键合的方法.当采用低转化温度的玻璃粉末为中介玻璃层时,可在410℃实现强度较好的硅圆片键合,而如果将温度提高到430℃,键合强度可以达到4MPa.     

表面翘曲度对晶圆直接键合的影响

根据薄板弯曲理论,推导出晶圆表面翘曲度及夹具形状影响晶圆直接键合的理论公式,很好地解释了晶圆材料性质及尺寸大小对直接键合的影响.利用理论公式比较了晶圆在外压力和无外压力作用下翘曲度对晶圆直接键合的不同影响,结果表明晶圆键合后的形状由晶圆的初始形状及键合所用的夹具决定.最后应用有限元进行了仿真分析,仿真结果表明,晶圆存在一定翘曲度时施加合适的外压力将有助于晶圆的直接键合.     

基于线结构光的冰箱门装配间隙在线检测方法

提出了一种基于线结构光的双门冰箱装配间隙在线检测方法.工业数字相机拍摄投射在冰箱门上的激光条纹;通过连通区域搜索,捕捉图像中条纹位置;采用高斯曲线拟合法提取条纹中心线;通过三角法获得中心线的偏移量对应的装配间隙.对测量数据进行倒数变换,使得检测方法的输入输出具有线性关系,方便工业现场标定.实验与现场测量数据表明该方法能够满足工业现场应用.     

高效管道有源降噪系统—理论与试验

本文建立了管道单极有源降噪系统的数学模型,在此基础上建立了两个管道单极有源降噪系统,分别称之为NCMS 系统和LFAM 系统。两个系统各具特点,分别适用于探测传声器的指向性因子α不同时的场合。NCMS 系统用补偿的方法对次级源的声反馈和系统组件的非理想相移特性进行了双重补偿。LFAM 系统通过改善探测传声器的工作指向性,使系统结构十分简单。两个系统都取得了良好的降噪效果,并实现了气流条件下的宽带降噪。     

立式捏合机搅拌桨曲面的NURBS表示与误差分析

依据搅拌桨水平截面轮廓线的理论坐标点,反求生成了NURBS曲线;按照搅拌桨的螺旋升角,生成了一组不同高度截面轮廓线的NURBS曲线;利用蒙皮方法,生成了搅拌桨的NURBS曲面。提出了一种新的控制顶点投影法求解点到NURBS曲面最小距离的算法,用于计算搅拌桨的NURBS曲面的重构误差。结果表明,立式捏合机搅拌桨的NURBS曲面重构精度高,研究结果可为搅拌桨曲面优化设计提供借鉴。     

乙醇气敏传感器及敏感度测试

二氯化锡具有灵敏度高，工作温度低、电路简单、造价低廉等特点，广泛用作硅基微结构气敏传感器的气敏材料。在二氯化锡薄膜中有意识地掺入适量催化剂，可提高气体敏感度，本文开展乙醇气敏机理的研究、进行气敏薄膜制备和掺杂后敏感度测试。