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1.
采用交流电沉积法,在预制备的铂电极对之间可以获得不同形貌的金纳米结构。通过控制实验条件,如交流电频率、电镀液浓度等,可沉积出直线型金纳米线。利用示波器监测电路电流控制电路的通断,可以使沉积出的金线接通电极对。通过TEM观察和伏安特性测试,使电沉积金线为单晶结构且具有较低的电阻率 (7.8×10-7 Ω·m),交流电沉积法生长金线在微/纳连接和生物/化学传感器中具有潜在的应用。 相似文献
2.
带有力反馈控制的三明治式微机械干涉加速度计 总被引:3,自引:0,他引:3
设计了一种静电力反馈控制的三明治式微机械干涉加速度计,加速度计由敏感芯片、半导体激光器、光电二极管以及相应的驱动电路和反馈控制电路组成.敏感芯片为玻璃-硅-玻璃3层结构,通过硅-玻璃键合体硅工艺制成.硅质量块由铝梁支撑,底部玻璃基片上有金属光栅和电极,通过在质量块和底部玻璃基片上的电极之间施加电压可以调节质量块与玻璃基片间的间隙.入射激光照射到敏感芯片上的光栅上,产生衍射光束,其光强随质量块与下玻璃的间距而变化.反馈控制电路通过测量衍射光强的变化来改变质量块与底电极之间的电压,使得质量块与底部玻璃基片的距离保持为入射光波长1/8的奇数倍,从而提高输出线性度,改善灵敏度,增大量程. 相似文献
3.
集成光栅干涉微位移测量方法 总被引:4,自引:3,他引:1
介绍了一种新型集成光栅干涉微位移测量方法,设计加工了微位移敏感芯片,并进行了初步的性能测试.敏感芯片利用硅-玻璃键合体硅工艺制作而成,在玻璃上制有金属光栅,光栅上方有由铝梁支撑的可动结构.实验系统由敏感芯片、半导体激光器、光电二极管以及相应的驱动、检测电路组成入射激光照射到光栅上产生衍射光斑,衍射光的光强随可动结构与光栅之间的距离变化,通过测量衍射光强的变化可以得到位移.测试实验结果表明,所制作的集成光栅干涉微位移敏感芯片可实现位移检测,最小可检测的位移约0.2nm. 相似文献
4.
5.
微米纳米技术及微型机电系统 总被引:22,自引:8,他引:14
微型机电系统和微型制造技术是一个新兴的技术领域。本文论述微米纳米制造技术的发展过程,微细加工的进展,微型机电系统的概念、主要研究课题,以及它的应用领域。 相似文献
6.
7.
8.
提出一种结构新颖的压电驱动膜片式微型气泵,对其输出流量、膜片的振幅等参数进行了理论分析,在此基础上设计、制作了微型气泵样机,并进行了测试实验。这种气泵在结构上充分利用了双压电梁端部位移大的优点,并利用两根双压电梁将膜片悬起,增加了容积变化率和输出流量,并具有结构简单,功耗低,厚度小,无电磁噪音,可靠性高等优点,在微型电子器件的冷却、微型燃料电池换气等方面显示出良好的应用前景。根据实验,微型气泵的一阶固有频率约为120Hz,在谐振状态下,当驱动电压为50V时,其输出流量为192mL/min,功耗小于23mW。 相似文献
9.
10.