二氧化硅干法蚀刻参数的优化研究

阐述了二氧化硅干法蚀刻的原理和主要的蚀刻参数.应用正交实验,进行了蚀刻速率、均匀性、选择比等主要蚀刻参数的优化,得出主要工艺参数的设置方法和理想条件漂移时的调整方法以及优化选择比的蚀刻方案.     

一个时域离散反卷积的后向迭代算法

本文所提出的时域离散反卷积的后向迭代算法是一个直接在时域实现离散反卷积的算法.该方法不仅能避免传统的Fourier变换法当卷积核的谱存在零点时的困难。且当输入(或输出)信号的首元存在测量误差时,仍能给出准确的解,克服了传统Z变换法所存在的误差积累.最后,论论了在输入、输出信号受随机噪声干扰的情况下,用后向迭代法和前向迭代法的平均解类减少估值h(n)的方法。     

The Influence of the Negative Radial Electric Field on the Orbit of Banana Particles in Tokamak

This paper explores the patterns of influence of the negative radial electric field on the drift displacement and trajectory of charged particles, for it is essential for further investigation into the transitional mechanism of L-H Mode. In the light of superposition between the poloidal velocity of charged particles and the E ×B drift caused by the negative radial electric field, the paper offers a theoretical analysis and value simulations. Under the action of different radial electric fields, results have been obtained in regard to changes in the velocity of charged particles (mainly ions), patterns of changes in drift displacement, regional change of banana particles, and features of transition and change between trajectories of transiting particles and banana particles.     

一种快速瞬态响应无片外电容LDO

针对无片外电容LDO,在误差放大器与功率管之间添加缓冲器,采用频率补偿的方法,提高了环路稳定性。通过检测负载瞬态变化引起的误差放大器输出电压变化,增加对功率管栅极电容的充放电电流,提升了系统的快速瞬态响应能力。基于TSMC 0.18 μm标准CMOS工艺,设计了一种输入电压范围为1.92~3.60 V、输出电压为1.8 V的LDO。结果表明,负载在1 μs内从0变化到100 mA时,输出最大下冲电压为37.2 mV,响应时间为1.12 μs;负载在1 μs内从100 mA变化到0时,输出最大过冲电压为40.1 mV,响应时间为1.1 μs。     

SiH4辉光放电的质谱研究

本文报道了采用四极质谱计在制备ａＳｉ∶Ｈ薄膜的ＰＣＶＤ系统中对ＳｉＨ４射频辉光放电进行在线的质谱研究。获取了在不同电离电压下的ＳｉＨ４质谱和不同辉光放电功率下的ＳｉＨ４质谱。     

基于BP神经网络的电子元器件寿命预测

电子元器件的寿命预测对于制订寿命试验的规划,确定所需的试验时间及试验经费,都有十分重要的指导作用.基于BP神经网络提出了一种电子元器件寿命预测的方法,该方法可对当前样本的未来观测值或未来样本的观测值进行预测.对MOS电容的加速寿命试验数据进行了仿真试验,结果表明该方法可较好地预测MOS电容在相应的应力条件下的失效时间,且精度较高.     

4Gbps低功耗并串转换CMOS集成电路

为满足传输数据的高速低功耗的要求,文章设计了一种半速率时钟驱动的二级多路选择开关式的10：1并串转换器。第一级为两个5：1的并行串化器,共用一个多相发生器。多相发生器由五个动态D触发器构成。第二级为一个2：1的并行串化器。采用半速率时钟、多路选择开关结构降低了大部分电路的工作频率,降低了工艺要求,也降低了功耗。通过调整时钟与数据间的相位关系,提高相位裕度,降低了数据抖动。采用1．8V 0．18μm CMOS工艺进行设计。用Hspice仿真器在各种PVT情况下做了仿真,结果表明该转换器在输出4Gbps数据时平均功耗为395μW,抖动18s^-1．     

基于前馈线性化的研究及改进

对前馈功率的线性化原理从时域上和频域上进行了综述。基于对相位、幅度、延时的失配影响的系统级分析对如何具体设计各部分电路给出了步骤和参数限制,对进一步电路实现选择元器件提供指导。最后基于前馈信号对消的原理提出了一种简化电路的方法,给出了该方法对处理器件的工作速度要求、精度和非线性性能提高的关系。     

一个二值图像的边缘检测算法

在对有关工程图纸（二值图像）作边缘检测时，我们发现采用经典的边缘检测算法，如Tidll算子、Roberts算子、Kirsch算子、l，aplacian算子和Sobel算子等都存在一些不完善之处。这些算子中有些对圆周的某些位置边缘检测效果不理想，有些则在对圆环线作检测时出现双边效应等。为了克服这些不足之处，我们提出了一个简单有效的二值图像边缘检测算法。考察图像中任一象素点（i，J）与其相邻的8个象素点的关系见图1。根据边缘的定义，由图1可见，若当（i，J）点的值为1时，图1中只有最后一种情况象素点（i，j）是非边缘点。即对（i，］）的8个…