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开口面积比是微通道板(MCP)重要的性能指标,在MCP输入面进行扩口,对于MCP的探测效率、噪声因子等参数有显著的提升作用,在微光夜视仪、粒子探测器等军用、民用领域具有巨大的应用潜力。采用湿法腐蚀进行微通道板扩口,面临工艺一致性差、选择性腐蚀造成锥度尺寸难以达标等难题,实质性批量应用非常困难。针对扩口MCP难以制作和应用的问题,提出一种采用干法刻蚀进行MCP扩口的方法,阐述了干法刻蚀进行MCP扩口原理及可行性。通过建立理论模型研究干法刻蚀工艺参数如刻蚀角度、刻蚀时间等对于MCP开口面积比、通道内刻蚀深度、通道内壁刻蚀锥度等性能参数的影响,计算出合适的工艺参数范围,为开展实验研究奠定了基础。 相似文献
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我国加入WTO,加快了企业国际化的进程,同时企业质量管理工作的不断发展和各种先进的、有效的管理模式及方法的运用,特别是ISO9000系列标准的推广使用,给军品的科研和采购,以及军品的检验验收产生积极深远的影响,军代表工作与之不适用的地方也逐步显视出来,一方面面临难得的发展机遇和挑战,另一方面则提出了新的更高的要求。本文就如何适应新形势,进一步改进军事代表 相似文献
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随着微通道板的不断发展与完善,通过改善传统工艺提升其性能越来越困难,开发提升微通道板性能的新技术迫在眉睫。纳米薄膜材料的发展及其制备技术的成熟为微通道板的发展提供了契机,利用原子层沉积技术在通道内壁沉积一层氧化铝纳米薄膜,作为二次电子发射功能层,可以增强通道内壁的二次电子发射能力,从而提升微通道板的增益性能。通过优化原子层沉积工艺参数可以在微通道板的通道内壁沉积厚度均匀的氧化铝薄膜。研究结果表明,微通道板增益随沉积氧化铝厚度的变化而变化,在氧化铝厚度为60 cycles时,施加偏压800 V时增益可达56 000,约为正常微通道板增益的12倍。 相似文献
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增强相机结合了MCP增强器和图像传感器这两个成熟的技术,便于对其各组件构成的优化及择优组合,获得单光子灵敏的探测能力,以及精确的空间和时间分辨能力,可在极微弱光条件下获得准确的位置和时间信息,成为一个可用于科学成像的理想的大面阵成像探测器,特别是可结合门控电源,获得超快的曝光时间,并使增强相机也可在较高的光照条件下工作,覆盖一个相当大的工作范围.本文描述了增强相机的构成及其各构成组件的工作特性,介绍了MCP增强器各组件的择优组合和优化构成,结合一个门控电源对光阴极的超高速和高频率的选通,以及一个百万像素的图像传感器经光学耦合后的高速读出,科学增强相机可具有纳秒甚至亚纳秒的时间分辨力,并兼具模拟和光子计数两种模式的大动态范围成像能力,在光子计数模式,具有可达到单光子探测灵敏度,和106 count?s-1?cm-2数量级以上的最大计数率,以及10μm(FWHM)的空间分辨的能力. 相似文献
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孙建宁 任玲 丛晓庆 黄国瑞 金睦淳 李冬 刘虎林 乔芳建 钱森 司曙光 田进寿 王兴超 王贻芳 韦永林 辛丽伟 张昊达 赵天池 《红外与激光工程》2017,46(4):402001-0402001(5)
针对高能物理、核物理等国家大科学装置对核心探测器件的需求,研究不同于金属打拿极型倍增系统的大尺寸微通道板型光电倍增管。该光电倍增管最主要的特点是具有20 in(1 in=2.54 cm)的低本底玻壳和微通道板型倍增极结构,使用Sb-K-Cs阴极作为光电转换阴极,该阴极对350~450 nm波段光子的量子效率高,倍增极采用两片微通道板,在电压比较低的情况下可实现107的倍增能力,从而提高了光电倍增管的探测效率和单光子探测能力。与传统的金属打拿极型光电倍增管相比,20 in微通道板型光电倍增管是一种全新的产品结构,具有单光子峰谷比高、本底低、响应时间快、后脉冲比例小等特点。 相似文献
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紫外光电倍增管是紫外告警系统和紫外光通信的关键探测器件,紫外微通道板型光电倍增管具有高灵敏度、高增益、高分辨率、低噪声等特点,且体积小、耐冲击与振动,但国内紫外光电倍增管起步较晚,产品技术性能薄弱,故紫外微通道板型光电倍增管的研制及性能研究迫在眉睫。本文中的紫外微通道板型光电倍增管采用端窗式结构、MgF2材料作为光窗、Cs2Te阴极作为光电转换阴极,可实现200 nm~300 nm"日盲"紫外波段的探测,倍增极使用高增益双通道板叠加结构,在电压较低的情况下可以实现约5×106倍增能力,从而提高了紫外光电倍增管的单光子探测能力。文中简要介绍了紫外光电倍增管的应用以及同种管型国内外的发展现状,研究紫外光电倍增管的测试方法,对自主研发的光电倍增管进行了性能评估和数据分析。结果表明,紫外微通道板型光电倍增管阴极辐射灵敏度较高,同时对单光子具有较好的响应,相对国外同类型的产品,具有高增益、高峰谷比、高分辨率等优点。 相似文献
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得益于夜气辉在短波红外(SWIR)0.9~1.7μm波段的自然辐射数十倍强于夜天空在可见光和近红外(NIR)0.4~0.9μm波段的辐射,SWIR成像成为应用于微光条件下的成像探测的最佳选择,由晶格匹配In0.53Ga0.47As/InP制作InGaAs焦平面阵列(Focal Plane Array,FPA),灵敏于0.9~1.7μm波段,在整个响应波段具有超过70%的量子效率,和室温非制冷工作的极低的暗电流。通过减薄基底,还可将InGaAs FPA的短波限延伸至可见光波段的0.4μm。最近几年,超低暗电流、低读出噪声、大面阵和小像素尺寸的InGaAs FPA的开发取得了实质性的进展,特别是暗电流得到了数量级的降低,InGaAs FPA探测器已经显露出应用于微光夜视的极大潜力,并且还通过采用更复杂的温度相关的非均匀校正算法实现了无TEC的低功耗工作,基于超低噪声的密集阵列InGaAs FPA的SWIR成像技术有望成为新一代夜视技术的一个重要组成部份。 相似文献