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当前半导体器件加工水平正在向22 nm方向发展,而最有希望实现这一尺寸的光刻技术即为EUV光刻技术。EUV光源所发出的13.5 nm辐射因为波长极短,物质对其吸收十分强烈,所以使采用透射式光学系统对辐射进行收集的可能几乎为零。如何高效地收集EUV光源发出的辐射能成为了EUV光刻技术中的一大难题。本文主要介绍了国外在EUV光源收集系统方面的发展现状,描述了两大类EUV光源收集系统(垂直入射式和掠入射式)的一些设计形式和设计实例,并对各种设计形式的EUV收集系统进行了分析和比较。还重点介绍了目前被普遍看好的内嵌式掠入射WolterⅠ型收集系统的设计与加工等情况。 相似文献
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为了检验红外导引头光学系统无热化设计的效果,采用光学检测的方法对被测系统在一定的温度范围内焦点位置的偏移进行评估.详细介绍了长波红外无热化检测仪的原理,对检测仪光学系统中的各个组成部分,包括高低温箱窗口玻璃、平行光管和红外显微物镜,进行了深入的讨论.用CODEV重点设计了一个工作在8~12μm波段,数值孔径为0.25,放大倍率为2倍,焦距80mm,全视场为12mm的红外显微物镜.最后对设计结果进行了分析,给出了系统的调制传递函数曲线和场曲畸变图,表明光学系统的像质满足使用要求. 相似文献
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大入瞳距双通道红外投影系统设计 总被引:4,自引:0,他引:4
由于受光学系统结构和使用条件的限制,红外投影仿真系统要求目标/干扰发生器共用一个光学系统,入瞳距大于1000 mm,光学件质量小于等于3 kg,体积限制在Φ250 mm×480 mm范围内.在原理设计上,采用无焦系统与后聚焦镜组的复合方式,在平行光路中加入平面耦合镜,实现了在大入瞳距条件下,目标/干扰共用同一光学系统的设计.此外,系统中采用了两个非球面,保证了系统在较少的光学零件情况下具有优良的像质和要求的透过率.同时,只需沿轴移动最后一组透镜,就可以实现调焦.最终设计结果为:全系统共有11个光学零件,质量约2.5 kg,入瞳距1050 mm,最大口径为220 mm,全视场MTF大于等于0.7,90%能量集中在20 μm 弥散圆内,满足了系统要求的各项技术指标. 相似文献
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为了实现防空导弹的自主精确制导,提出了一种共孔径红外成像/激光雷达双模导引头的系统方案,并设计了其中的光学系统.该方案采用被动红外成像与主动激光雷达制导两种模式,通过被动红外方式进行视场搜索并确认目标,然后切换为激光雷达制导方式进行目标锁定与精确跟踪.整个系统共用同一个接收口径,结构紧凑,符合导引头小型化的要求,并且既能满足目标搜索阶段大视场的要求,又能满足目标的精确识别与跟踪的要求.随后文中给出了光学系统参数的确定方法,并用CODE V光学设计软件设计了光学系统.所设计的光学系统具有较好的成像质量,可满足系统的性能要求. 相似文献
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激光外差探测系统光学参量的确定 总被引:1,自引:0,他引:1
激光外差探测是一种高灵敏度的探测技术,在测距、测速、制导、跟踪等领域有着广泛的应用,光学系统在外差探测系统中占有很重要的位置;光学系统性能参量选择是否合理,直接影响系统探测目标的能力,着重介绍了在收发合置式激光外差探测系统中,如何确定光学系统的参数,使成像的衍射斑与探测器尺寸匹配,并符合天线定理给出的条件,满足探测器混频的要求,给出了各主要参数之间的关系式及计算实例。 相似文献
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紫外星敏感器的光学系统设计 总被引:4,自引:0,他引:4
紫外星敏感器是小卫星关键技术的一项重大突破 ,它与光纤陀螺配合可使小卫星的指向精度和稳定度提高一个数量级 .提出了一种新型紫外星敏感器的光学系统设计方案 ,在对性能指标进行分析的基础上 ,确定了光学系统的参数和结构尺寸 .采用锥面反射镜压缩光学镜头的视场角 ,使所设计的系统具有超大视场的观测能力 ,环形视场可达 135°~ 14 5° ,工作波段为 0 .2 5~ 0 .2 8μm的真空紫外 相似文献