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利用有机/无机杂化方法制备了光敏性溶胶-凝胶(sol-gel)SiO2材料,在预生长了18μm厚的SiO2上包层的硅基片上旋涂成膜。经前烘、紫外曝光、后烘的薄膜在5μm×5μm的扫描范围内的表面粗糙度只有0.266nm,表面起伏度只有0.336nm。利用紫外光直写技术,制作出条形波导器件。SEM照片表明波导端面形状较好,侧壁陡直。对1×4多模干涉型分束器进行初步的通光测试,观察到分光效果较好的近场输出图像。 相似文献
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An ultra compact triplexing filter was designed based on a silicon on insulator(SOI) nanowire arrayed waveguide grating(AWG) for fiber-to-the-home FTTH.The simulation results revealed that the design performed well in the sense of having a good triplexing function.The designed SOI nanowire AWGs were fabricated using ultraviolet lithography and induced coupler plasma etching.The experimental results showed that the crosstalk was less than -15 dB,and the 3 dB-bandwidth was 11.04 nm.The peak wavelength output from ports a,c,and b were 1455,1510 and 1300 nm,respectively,which deviated from our original expectations.The deviation of the wavelength is mainly caused by 45 nm width deviation of the arrayed waveguides during the course of the fabrication process and partly caused by material dispersion. 相似文献
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基于SOI纳米线AWG超紧凑三向滤波器 总被引:1,自引:0,他引:1
本文针对FTTH,设计并制备了基于SOI纳米线AWG的三向滤波器。利用传输函数法模拟了器件的传输谱,模拟结果表明器件能很好的实现三向滤波的功能。通过深紫外光刻和感应耦合等离子刻蚀设备,制备了所设计的器件。输出光谱分析表明,器件的通道间串扰为-15 dB,3 dB带宽为11.04 nm,三个通道的输出波长分别为1455 nm、1510 nm和1300 nm,偏离了设计值,波长的偏移主要是由制造过程中阵列波导宽度的偏移设计宽度45 nm引起的,材料色散也是导致波长偏移设计值的一方面原因。 相似文献
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介绍了硅光子互连中4种波分复用器及相关单片集成发射接收芯片,其中硅纳米线阵列波导光栅及刻蚀衍射光栅波分复用器单个芯片就可以成倍扩展通道数,非常适合大通道数密集波分复用,马赫-曾德尔结构及微环谐振型波分复用器芯片通道数增大时需要多个单元级联,波长准确性及间隔不易控制,比较适合通道数少的芯片应用。同时,给出了自主设计和制备的硅纳米线阵列波导光栅和刻蚀衍射光栅,通过采用阵列波导展宽方法,有效抑制了阵列波导的串扰,实现串扰小于-15 d B;通过在刻蚀衍射光栅反射面引入二维光子晶体反射镜,降低了刻蚀衍射光栅的反射损耗,损耗比普通刻蚀衍射光栅减小了3 d B。 相似文献
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决策与人们的工作和生活息息相关,本文通过论述决策的含义、科学决策应遵循的原则及决策的方法,说明决策应走出“三个陷阱”克服“三个意志”,提出了提高决策科学性的建议和相应的对策。 相似文献
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