基于SU-8胶转子的非接触压电微马达

研制了一种非接触压电微马达，通过阻抗分析仪对定子进行扫频测试，确定其共振频率，并且详细介绍了SU-8胶转子制作的工艺流程。利用转速仪比较不同形状和尺寸的转子在调频和调压下的转速，从而确立压电微马达的最优转子。转子半径为6mm，叶片宽度为6mm的三叶片转子转速最高为3569r／min。转子的启动电压和最高电压分别为8V和24V。     

压电点火器的发电特性研究

本工作研究了普通压电打火机中的压电点火器发电特性,以调查其产生的电能能否满足小型电子设备对电能的需求。研究发现压电打火器能够产生高达千伏的高压脉冲,于是通过接入整流桥、电容和稳压器来对高压脉冲进行整流和稳压。研究还发现,接入负载的阻值对压电点火器的输出功率有急剧影响,当阻值为0.22 kΩ时输出功率达到极大值0.26 mW,基本可以满足一些小型电子设备的电能需求。     

环氧基紫外负性光刻胶的特性、应用工艺与展望

环氧基紫外负性光刻胶(SU-8)是一种近几年发展起来的新型的光刻胶材料。它是一种双酚A酚醛缩水甘油醚环氧树脂溶解于GBL(r-Butyrolactone)而形成的高分子有机聚合物胶体．SU-8胶作为一种光刻材料，由于其独特的光学性能，力学性能和化学性能等，在MEMS(Micro—electro—mechanic—system)研究领域正受到了越来越多的关注，目前已被广泛的应用于MEMS器件的制备中。本文介绍了它的结构性能以及发展前景并报道了我们在其加工工艺上的研究进展。     

通孔泡沫材料与分形理论

分形理论是近年来发展起来的一种广泛的理论，对通孔泡沫材料的孔结构和发泡过程进行了详细的分析，同时结合分形结构和分形动力学的相关理论，简要分析了二者之间的联系，提出了对通孔泡沫结构和孔结构生成过程分析的一个新的途径。     

UV-LIGA中光源波长和曝光量对SU-8光刻胶微结构的影响

基于UV-LIGA技术采用SU-8光刻胶制备了高深宽比微结构,最高深宽比达201.研究了改变光源的波长和曝光量对SU-8光刻胶成形的影响,揭示了在一定范围内线宽随曝光量非线性变化的规律.从聚合度和聚合所得高分子结构两方面对该变化规律给出了合理的解释,并基于该变化规律提出了一种新的消除微结构倒角的方法.     

超厚SU-8负胶高深宽比结构及工艺研究

采用新型SU-8光刻胶在UV-LIGA技术基础上制备了各种高深宽比MEMS微结构,研究了热处理和曝光两个重要因素对高深宽比微结构的影响,解决了微结构的开裂和倒塌等问题;优化了SU-8胶工艺,从而获得了最大深宽比为27：1的微结构。     

一种利用PDMS工艺解决SU-8去胶问题的方法

提出了一种解决SU-8去胶难题的方法.该方法首先将SU-8微结构用PDMS进行复制,然后利用复制的PDMS微结构进行下一步的电铸,电铸完成后只要简单地将PDMS揭下即可释放出金属模具.通过该方法制备得到了深宽比达到10的金属模具,而且模具表面光滑,侧壁垂直.     

SU-8胶光刻工艺参数优化研究

对基于SU-8胶的UV-LIGA技术进行了工艺优化,研究了光源波长和曝光时间对SU-8胶成型的影响。结果表明,光刻胶表面线宽变化随曝光时间增加先减少后增加,有一个极小值;侧壁角度先增加后减少,有一个极大值。通过优化光源波长、曝光时间以及显影时间三个主要工艺参数,可以获得侧壁角度为90.64°正角的300μm厚光刻胶微结构和侧壁角度为89.98°近似垂直的500μm厚光刻胶微结构。     

泡沫铝发泡过程热力学

针对泡沫铝发泡过程的热力学条件进行了详细的讨论。研究了用TiH2作为发泡剂制备泡沫铝材过程中熔融铝中发泡剂的分解、氢气泡的产生、长大、稳定、消失等热力学过程，为发泡过程及泡沫铝的结构控制提供了必要的信息。