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环氧基紫外负性光刻胶(SU-8)是一种近几年发展起来的新型的光刻胶材料。它是一种双酚A酚醛缩水甘油醚环氧树脂溶解于GBL(r-Butyrolactone)而形成的高分子有机聚合物胶体.SU-8胶作为一种光刻材料,由于其独特的光学性能,力学性能和化学性能等,在MEMS(Micro—electro—mechanic—system)研究领域正受到了越来越多的关注,目前已被广泛的应用于MEMS器件的制备中。本文介绍了它的结构性能以及发展前景并报道了我们在其加工工艺上的研究进展。 相似文献
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通孔泡沫材料与分形理论 总被引:2,自引:0,他引:2
分形理论是近年来发展起来的一种广泛的理论,对通孔泡沫材料的孔结构和发泡过程进行了详细的分析,同时结合分形结构和分形动力学的相关理论,简要分析了二者之间的联系,提出了对通孔泡沫结构和孔结构生成过程分析的一个新的途径。 相似文献
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超厚SU-8负胶高深宽比结构及工艺研究 总被引:2,自引:3,他引:2
采用新型SU-8光刻胶在UV-LIGA技术基础上制备了各种高深宽比MEMS微结构,研究了热处理和曝光两个重要因素对高深宽比微结构的影响,解决了微结构的开裂和倒塌等问题;优化了SU-8胶工艺,从而获得了最大深宽比为27:1的微结构。 相似文献
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泡沫铝发泡过程热力学 总被引:7,自引:0,他引:7
针对泡沫铝发泡过程的热力学条件进行了详细的讨论。研究了用TiH2作为发泡剂制备泡沫铝材过程中熔融铝中发泡剂的分解、氢气泡的产生、长大、稳定、消失等热力学过程,为发泡过程及泡沫铝的结构控制提供了必要的信息。 相似文献
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