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管式PECVD功率对膜性能的影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文主要讲述管式PECVD中等离子体电源功率大小对膜的折射率和吸光系数以及致密性的影响。对生产高效太阳能电池提供一些思路。  相似文献   
2.
根据国家级体育非物质文化遗产名录,分析名录中舞蹈类;传统体育、游艺与杂技类;民俗类中体育项目分布特征和存在问题,试提出体育非物质文化遗产保护路径:(1)加大宣传力度;(2)加大挖掘力度;(3)建立管理机制;(4)合理开发商业价值。  相似文献   
3.
多晶硅铸锭时是将硅材料放在一个耐高温容器即坩埚中将硅料熔化、冷却、长晶的过程。装硅料的容器必须耐高温,不挥发,一般采用氧化硅陶瓷制造。为了保证硅锭的纯度,在硅料放入前需在坩埚内表面喷涂一层隔离材料,然后将此材料与坩埚在高温下形成一体。坩埚烧结炉就是将此喷涂物与坩埚烧结起来,形成牢固的隔离层。本文介绍了设计方法,提供了详细设计计算过程,介绍了设备的特点,并结合实际使用情况给出了测试数据。  相似文献   
4.
多晶硅太阳电池PECVD氮化硅钝化工艺的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
介绍等离子体化学气相淀积(PECVD)制备减反射钝化膜。将PECVD设备运用于太阳电池生产线上,发现通过PECVD设备可以对多晶硅太阳电池有很好的钝化效果。分析PECVD对多晶硅太阳电池钝化机理。  相似文献   
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