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“三面镜”法及其在高精度光束平行性检测中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
针对高精度光束平行性检测中存在的问题,提出了一种新的检测方法,并且成功地实现了大口径高精度空间光束秤行性的检测,测量误差小于1秒。 相似文献
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当前半导体器件加工水平正在向22 nm方向发展,而最有希望实现这一尺寸的光刻技术即为EUV光刻技术。EUV光源所发出的13.5 nm辐射因为波长极短,物质对其吸收十分强烈,所以使采用透射式光学系统对辐射进行收集的可能几乎为零。如何高效地收集EUV光源发出的辐射能成为了EUV光刻技术中的一大难题。本文主要介绍了国外在EUV光源收集系统方面的发展现状,描述了两大类EUV光源收集系统(垂直入射式和掠入射式)的一些设计形式和设计实例,并对各种设计形式的EUV收集系统进行了分析和比较。还重点介绍了目前被普遍看好的内嵌式掠入射WolterⅠ型收集系统的设计与加工等情况。 相似文献
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波差法设计长焦距复消色平行光管物镜 总被引:2,自引:1,他引:2
长焦距复消色平行光管物镜是光学设计的两大难题之一,本文利用波差与球差、慧差、波色差与位置色差、二级光谱的关系导出了求解三胶合复消色差平行光管物镜初始结构的方程式,再配以玻璃库,可较快地得到满意的复消色差物镜的结构参数. 相似文献
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李润顺 《光电子技术与信息》2001,14(3):24-26,30
介绍了国外研制的“宽网纹镜”的“红外目标仿真装置”的工作原理和特点后,指出其外型尺寸高大、研制难度大、经费多,不适于一般单位使用;着重提出了用“传像光缆”代替“网纹镜”的新方案。“传像光缆”不仅能起到“多目标复合、配准和扩束的作用”,还有使新装置结构简化,高度减小2/3,造价节省一半等优点,因此适用性更广。 相似文献
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