PtSi薄膜超薄化及连续性研究

减薄膜厚有利于提高ＰｔＳｉ红外探测器的量子效率。本文研究了膜厚减薄工艺对薄膜连续性的影响。用ＸＲＤ观察物相,ＳＥＭ、ＴＥＭ研究薄膜连续性,并给出理论解释,实验表明用混合生长（Ｓ－Ｋ）模式能形成超薄连续薄膜。     

超高斯谱函数及其时-频局域化特征

首先在频域定义第一类、第二类超高斯谱函数并推导出其时域解析表达式,然后引用时间算子和频率算子分析两类超高斯谱函数的时间局域化、频域局域化和时-频局域化特征.研究结果表明:时间算子和频率算子对于时-频分析是两个很有用的数学工具;超高斯谱函数的基本性质十分有利于构造规范正交尺度和子波;超高斯谱函数的带宽主要取决于形状因子,时宽主要取决于超高斯谱的阶数,而时-频局域化特征仅与阶数有关.     

离子注入降低PtSi肖特基二极管的势垒高度

Pt Si肖特基二极管的势垒高度制约 Pt Si红外探测器的截止波长和量子效率 .在 Pt Si/Si界面注入 In+ 、B+ ,采用高浓度、浅层注入避免隧穿效应 ,用 Ar气保护热处理消除注入损伤 ,附加掩膜层控制离子注入深度 ,成功地将 Pt Si肖特基二极管的势垒高度降低到 0 .1 5e V.     

X射线衍射、X射线光电子能谱对PtSi薄膜形成机理的研究

促使物相尽可能地向Pt2Si和PtSi 转化,是PtSi薄膜工艺研究中的重要工作。文中通过用X射线衍射（ XRD）、X射线光电子能谱（XPS）微观分析手段对PtSi薄膜形成物相分步观察,研究了长时间变温退火、真空退火以及真空和保护气体（N2和H2）退火等工艺条件对溅射PtSi薄膜物相形成的影响。结果表明,氢气气氛退火能提高薄膜质量;真空退火可以减少氧元素对成膜的影响。     

兖州矿区开采塌陷区综合治理技术途径的探讨

该文根据国内外煤矿开采塌陷区综合治理技术的发展状况 ,结合兖州矿区的实际情况 ,从采前预防、采后治理两个方面 ,就开采塌陷区综合治理的技术途径进行了探讨 ,并对其技术的可行性、可能取得的经济效益和社会效益进行了分析。     

新世纪初的光子技术展望

光子技术是一门新兴的科学技术,它是继电子技术之后又一升级的技术。光子技术是以激光、红外、光纤等现代光子器件为基础,由光学精密机械、电子、微电子和计算机等结合的一门蓬勃发展的新技术。利用光子技术的装置具有更高速度、更大容量、     

基于DSP和USB的实时红外图像处理系统

设计了一种实时红外图像处理采集系统，以高速DSP芯片对红外图像进行两点法非均匀校正，用USB2.0接口芯片与主机接口，传输速度高达400Mb/s，图像的伪彩色处理和显示由微机完成。该系统实时性强，与PC机接口方便。     

圆柱导轨

最近国外采用一种新型圆柱导轨(见图),配合面为圆柱形式,是用圆钢柱焊接在⊥形钢上,滑板采用镶衬套开豁口的办法与圆钢柱导轨配合。结构简单,加工     

双吸除技术对提高LSI硅单晶性能的作用

通过离子探针分析,少子寿命监测和对诱生缺陷形成情况的观察分析证明,经过双吸除技术处理的晶片,在经受了器件制造工艺条件下的多次高温处理后,含杂量和二次缺陷密度普遍低于常规片,而少子寿命则高于未经处理的单晶片1个数量级以上.IC制作的初步实验结果证明,双吸除技术是可起到改善LSI所用硅单晶性能的良好作用的.     

PtSi红外探测器截止波长延长研究

讨论了将PtSi红外探测器截止波长延长的理论基础,并介绍了采用在衬底掺入T1^ 和Ir^ ,MBE生长P^ 层以及低能离子入注B^ ,In^ 未延长PtSi红外探测器截止波长的三种方法。