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适用于工业现场的小型化双波长激光外差干涉仪李彬,梁晋文(东南大学机械系南京210018)(清华大学精仪系北京100084)0引言多波长激光干涉测量利用合成波长概念,可以在降低或不降低测量灵敏度的前提下,延长干涉测量的非多值区间(unambiguous... 相似文献
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偏振混合对双波长外差干涉仪精度的影响分析 总被引:1,自引:0,他引:1
本文分析了偏振混合在双波长外差干涉仪中所产生的误差,指出其是干涉仪相位抖动的主要原因. 相似文献
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本文采用散斑干涉理论研究固体表面内位移测量的激光多谱勒效应方法,理论和实验表明测量结果中存在一项随机相位误差,尽管该误差可在一定程度上补偿,但不能消除,因而限制了测量精度的是提高,此外,本文还给出了测量过程中信号随机消失的原因以及延长信号不间断距离的方法。 相似文献
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大型机械零件表面的平面度误差的测量,在国内外一直处于难以解决的课题。采用传统的方法,如水平仪法、自准直仪法等,测量周期长,测量精度也不高,不适应近年来由于科学技术发展,对大型表面平面度误差要求越来越高的需要,近几年国内已经开展了这方面研究,并已研制出几种可行的高精度测量仪器,如镜板平面度测量仪、双光束扫描法高精度大型平面测量 相似文献
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目前国内外对中小尺寸的测量技术日趋完善,近十几年来出现许多测量中小尺寸零件的新方法、新仪器,这些新方法和新仪器已基本上能满足现代化生产的要求。但是对大尺寸的测量,特别是大型工件内外径的测量发展却十分缓慢。国外对大直径尺寸精度的 相似文献
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3.39μm双波长拍波干涉仪绝对测量大直径方法的研究 总被引:3,自引:2,他引:1
在介绍了3.39μm双波长拍波干涉仪测量原理的基础上,提出了激光瞄准大型工件内外径测量点和3.39μm双波长拍波干涉仪绝对测量大直径的新方法,给出了瞄准定位的实验结果,并对测量系统的误差进行了分析。分析表明:测量系统测量10m直径时,其测量误差小于0.03mm。 相似文献
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以半导体激光器为光源的准直研究 总被引:4,自引:0,他引:4
对半导体激光器的准直装置、温度变化对准直精度的影响、温度控制方法作了论述。试验表明,采用半导体激光器作准直光源,准直的稳定性可达到1×10~(-6)。 相似文献