三维压电加速度传感器的设计

设计了一种基于MEMS的单片三维压电薄膜加速度传感器,传感器采用单一质量块和四方梁的高度对称结构。对传感器结构进行理论分析和计算,研究了传感器设计中几个因素间的相互制约关系。用有限元软件ANSYS进行了不同加速度条件下传感器的静态和模态分析。模拟结果表明传感器能够同时独立测出X、Y、Z三个方向的加速度,其灵敏度分别为2.76×10~(-3)V·s~2/m、2.76×10~(-3)V·s~2/m、2.96×10~(-3)V·s~2/m,并且横向灵敏度几乎为零。