新型表面活性剂对低磨料铜化学机械抛光液性能的影响

介绍了一种用于铜膜化学机械抛光的多元胺醇型非离子表面活性剂。研究了该表面活性剂对抛光液表面张力、黏度、粒径、抛光速率和抛光后铜的表面状态的影响。抛光液的基本组成和工艺条件为:SiO2 0.5%,H2O2 0.5%,FA/OII型螯合剂5%(以上均为体积分数),工作压力2 psi,抛头转速60 r/min,抛盘转速65 r/min,抛光液流量150 mL/min,抛光时间3 min,抛光温度21°C。结果表明,微量表面活性剂的加入能显著降低抛光液的表面张力并大幅提高抛光液的稳定性,但对静置24 h后抛光液黏度的影响不大。表面活性剂含量为0%～2%时,随其含量增大,化学机械抛光速率减小,抛光面的粗糙度降低。     

大分子螯合剂在低压力低磨料条件下铜膜的化学机械抛光中的应用

The mechanism of the FA/O chelating agent in the process of chemical mechanical polishing （CMP） is introduced. CMP is carried on a φ300 mm copper film. The higher polishing rate and lower surface roughness are acquired due to the action of an FA/O chelating agent with an extremely strong chelating ability under the condition of low pressure and low abrasive concentration during the CMP process. According to the results of several kinds of additive interaction curves when the pressure is 13.78 kPa, flow rate is 150 mL/min, and the rotating speed is 55/60 rpm, it can be demonstrated that the FA/O chelating agent plays important role during the CMP process.     

化工中间体乙二醛的最佳合成工艺探索

乙二醛作为一种重要的化工中间体,用途涉及到诸多行业,但是其合成工艺一直不太成熟。本文通过研究控制乙二醛合成反应的因素对乙二醛产率和产率选择性的影响,得出了乙醛硝酸氧化法制备乙二醛的最佳工艺流程,并详细的分析了各因素对主副反应的影响。     

增强的Netflow数据采集系统设计与实现

基于端口号进行网络流量分析的Netflow技术无法准确地回答网络流分别由哪些应用协议组成及其比例等问题,也不能提供web用户行为数据来反映用户对大多数网站的访问情况。为改进上述缺陷,提出一种增强的Netflow数据采集系统。结合flow和深度包检测技术进行精确的应用协议识别,对web用户行为数据进行采集与动态存储,为网络流量监测与分析提供全面的数据支撑,设计并实现该系统,验证了其有效性和可行性。     

优化CMP碱性铜抛光液配比的新方法

采用响应曲面法(RSM)和人工神经网络(ANN)分别对化学机械抛光(CMP)碱性铜抛光液的主要成分(SiO2磨料、FA/O型螯合剂、H2O2氧化剂)进行优化研究.采用RSM优化,当抛光液中磨料、氧化剂和FA/O型螯合剂的体积分数分别为10.57％,1.52％和2.196％时,Cu的抛光速率的预测值和实测值分别为924.29和908.96 nm/min;采用ANN结合人工蜂群算法(ABC)优化,当抛光液中磨料、氧化剂和FA/O型螯合剂的体积分数分别为11.58％,1.467％和2.313％时,Cu的抛光速率的预测值和实测值分别为947.58和943.67 nm/min,其拟合度为99.36％,高于RSM的94.63％,且均方根误差较低为0.199 3.结果表明,在抛光液配比优化方面,RSM和ANN都是可行的,但后者比前者具有更好的拟合度和预测准确度,为更加高效科学地优化抛光液配比提供了一种新的思路和方法.     

自适应特征细化的遥感图像有向目标检测

目标检测是遥感研究中重要且具有挑战性的任务。遥感图像大多通过俯视视角拍摄，其背景复杂、方向任意的特点，使得自然场景中的目标检测算法直接应用于遥感领域会面临一些挑战。针对上述问题，提出一种自适应特征细化网络AFR-Net，生成与物体之间具有高匹配度的有向候选框。设计特征增强模块增加具有判别力的特征表示，提升复杂背景下空间细节的捕捉能力；为得到适应于物体方向的有向候选框，提出自适应特征对齐模块缓解卷积特征与有向目标的空间错位问题，得到旋转不变特征；通过解耦检测头模块获取旋转敏感特征并细化精确的边界盒回归。提出的网络在公开的遥感目标检测数据集DIOR-R和HRSC2016达到了66.71%和97.12%的准确率，相比原始算法分别提高了2.3和0.9个百分点的检测精度，同时与一些主流的目标检测算法相比，该算法具有一定的优越性。     

基于改进残差结构的肺结节检测方法

针对肺结节检测方法中网络结构复杂所导致的模型计算量大、过拟合的问题,提出了一种结合深度可分离卷积和预激活的改进残差网络结构,将提出的网络结构应用于肺结节检测模型。该模型以目标检测网络Faster R-CNN为基础,采用U-Net编码解码器结构,利用深度可分离卷积和预激活操作改进了三维残差网络结构。首先,通过使用深度可分离卷积,模型复杂度和计算量大幅度降低;其次,通过使用预激活,模型的正则化得到改善,缓解了过拟合现象;最后,采用矩形卷积核在少量增加模型计算量的前提下扩大了卷积操作的感受野,有效地兼顾了肺结节的全局和局部特征。在LUNA16数据集上的检测中所提方法的灵敏度为96.04%,无限制接收者操作特征曲线下面积（FROC）得分为83.23%。实验结果表明：该方法提高了肺结节检测的灵敏度,又有效降低了检测结果的平均假阳性个数,同时提高了检测效率,可有效辅助放射科医师对肺结节进行检测。     

铜膜化学机械抛光工艺优化

对d为300mm blanket铜膜进行了低压低浓度化学机械抛光实验,分析了抛光工艺参数和抛光液组分对铜膜去除速率及其非均匀性的影响。通过实验表明,当抛光压力为13.780kPa,抛光液流量为175mL/min,抛光机转速为65r/min,0.5%磨料,0.5%氧化剂,7%鳌合剂,铜膜去除速率为1 120 nm/min,片内速率非均匀性为0.059,抛光后铜膜表面粗糙度大幅度下降,表面状态得到显著改善。     

成膜剂硅溶胶的黏度对涂层性能的影响

涂层黏度实验证实,硅溶胶黏度越大,所制备涂层的附着力越大,耐腐蚀性能越强。通过对硅溶胶的物理化学性能研究可知,硅溶胶体积分数的增加会导致体系pH值的上升,当体积分数为10%时,pH值达到最大值9.91。当pH值为9.7时,硅溶胶的黏度最大且Zeta电位绝对值最大。根据硅溶胶体积分数和体系pH值的线性关系,得出硅溶胶最佳体积分数为9.074%。     

乙二醛合成反应动力学研究

本文通过对乙二醛合成反应动力学的研究,得到了不同温度下各反应的化学反应速率常数。根据阿伦尼乌斯方程对上述化学反应速率常数进行线性拟合分析,最终得到了不同阶段化学反应速率的活化能表达式,具体表达为:乙二醛的净生成速率rc=exp(53318.597/RT-27.05)CACB-exp(-13.918/RT+0.006)CCCB;乙醛酸的净生成速率rD=exp(-13.918/RT+0.006)CCCB-exp(-361 160.16/RT+156.56)CDCB。