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1.
二元光栅照明研究   总被引:3,自引:1,他引:2  
罗先刚  陈旭南 《光电工程》1998,25(6):111-115
采用部分相干成象理论对二元光机照明进行了较为详细的研究。分析了二元光栅照明对分辨力,焦,照明能量和照明均匀性的影响,并通过实验研究验证了二元光栅对分辨力和焦深有较大程度的提高,同时能量损失不大。  相似文献   
2.
介绍中心对称材料二次谐波产生(SHG)的基本原理,通过数值模拟计算,分析研究影响中心对称材料SHG的因素.其中,光子晶体带隙(PBG)的影响最为关键,它决定了SH能否产生;激励波入射角与组成结构的耦合介质柱和填充因子对SHG强度大小也有较大影响,按文中结构,耦合介质柱有2排已足够,最佳入射角为20°~30°,填充因子为0.6.  相似文献   
3.
分析温度气压对物镜光学材料、透镜厚度间隔,以及空气折射率的影响,并用空气折射率对物镜像质影进行模拟计算。研究表明物镜焦面产生较大漂移,对僧率有一定影响,而对畸变影响较小,指出对物镜进行温度气压控制补偿是必要的。  相似文献   
4.
亚半微米投影光刻物镜的研究设计   总被引:3,自引:1,他引:2  
介绍了分步重复投影光刻业半微米光刻物镜光学和机械结构研究设计、设计结果,以及公差控制。指出技术指标已达到:数值孔径NA=0.63、工作波长λ=365nm、倍率5x、工作分辨力R≤0.35μm,设计和镜所用透镜片数最少,无胶合件,并具有暗场同轴对准和温度气压控制补偿功能。  相似文献   
5.
张雅鑫  蒲明博  郭迎辉  靳金金  李雄  马晓亮  罗先刚 《红外与激光工程》2020,49(9):20201030-1-20201030-8
偏振是光的固有属性之一,然而传统的光强、光谱探测技术会造成电磁波的偏振信息的丢失。同时,基于偏振测量的器件及技术不仅存在视场局限的问题,而且系统复杂。基于介质型超表面设计了一种紧凑型大视场偏振探测器件,实现了对入射光的角度及偏振态的探测。该器件由2×2的二次相位超表面组成,每个超表面可实现对特定偏振的对称性变换,即将入射角旋转对称性转变为焦平面内焦点平移对称性。二次相位的对称性变换理论使得此文可以在宽角度范围内(-40°~+40°)通过测量焦点的偏移量实现对入射角的表征。在此基础上,分析了斜入射对测量Stokes参数的影响,得到矫正的Stokes公式。利用4个焦点的强度和矫正的Stokes公式可计算出入射光的Stokes参数。在视场角为0°、20°、40°时,测量的Stokes参数与理论值吻合良好。  相似文献   
6.
本文理论研究了金属-介质多层膜光学超衍射材料频谱滤波的物理机制。严格矢量分析光波在金属-介质多层膜中频谱耦合传输的带通行为规律,理论分析单元厚度、填充比、膜层材料虚部和Al/Mg F2多层膜对数对空间频谱的带通窗口和透射振幅的影响因素。研究表明单元厚度和填充比主要影响空间频谱的带通窗口,膜层材料虚部和膜层对数主要影响空间频谱的透射振幅。该研究结果有望应用于超分辨成像光刻、表面等离子体结构照明、表层显微和生物传感等领域。  相似文献   
7.
针对传统微分干涉相衬技术对双折射性物体成像会有伪像的问题,用双频闪耀光栅取代传统微分干涉相衬的分光元件诺曼斯基棱镜,设计了一种微分干涉相衬方法.对双频闪耀光栅设计,模拟入射平面波通过它之后的光强分布,结果表明它能产生两束剪切角很小的光.用双频光栅微分干涉相衬方法对纯相位样品模拟成像,仿真结果和物体的相位轮廓一致.分析了...  相似文献   
8.
微机械往复式无阀泵的振动特性分析   总被引:3,自引:3,他引:0  
提出了用于研究微机械往复无阀泵动态特性的二自由度振动力学模型,并进行了分析与实验验证.在模型中增加考虑泵腔内气泡因素,并将泵腔内、外液体质量的影响分开考虑;得出振幅随频率、泵腔内外液体质量比变化的曲线;发现其幅频曲线一般呈双峰特性,泵腔内外液体质量比值对曲线特征、谐振频率、振幅均有显著影响.通过实验验证了分析结果.由此得出以提高泵压为目的的微泵优化设计策略适当增大膜片质量、选择合理的泵腔内外液体质量比值.采用硅深刻蚀、硅-玻璃膜片键合等工艺制作出微机械往复无阀泵,其尺寸为20 mm×20 mm×0.65 mm,实现最大泵压为1.52 kPa,对应最大流量为35×10-6 L/min.  相似文献   
9.
改善深亚微米光刻图形质量的途径   总被引:2,自引:0,他引:2  
本文对目前用于提高亚半微以影光刻机成像分辨力、增大焦深的一些新技术;大数值孔径和短波长技术、倾斜照明技术、相移掩模技术、光瞳波技术,多焦面曝光技术以及表面成技术的和现状作了较为详细的阐述,提出了增大0.35μm图表的分辨力和焦深的途径。  相似文献   
10.
操纵原子束的激光系统研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
重点分析了操纵原子束进行纳米结构加工中激光系统的设计特点 ,包括激光器件的选择、发射功率与激光波长等参数的确定。用其结论设计出了焦距 1 93 .3mm ,F/ # =1 .9,λ =0 .67μm的扩束准直光学系统和缩束倍率 1 0×的缩束光学系统。研究结果表明 ,该系统可以通过控制原子实现纳米图形制作 ,并且具有使用方便、寿命长、成本低的优点。  相似文献   
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