透明电热炉的热工设计

本文简述了透明电热炉的原理、基本特性及几种主要材料的选择,并引出了一些基本热工设计计算方法。最后,简介了研制结果和使用情况。     

液相外延系统中高指标热场的实现

高精度、高稳定性、高降温速率的热场,是液相外延设备研制中的关键技术之一。介绍了热场的结构设计、炉温的控制及调试结果。     

氢氧合成氧化的部件设计

介绍了氢氧合成氧化工艺的优越性，基本机理，以及如何根据工艺要求、硅片的几何尺寸，采用相应的氢氧合成氧化方式及安全保护措施     

烘干/烧结设备传动系统设计

传动系统是烘干/烧结设备中传输工件的关键机构,是维持设备连续正常运转、确保工艺效果的重要保障。根据项目的需要,借鉴了以往开发经验,设计开发出一种烘干/烧结炉的传动系统,各项指标均达到了技术及工艺要求,运行平稳。介绍了该系统的设计、结构组成及性能特点。