高稳定超微动匀速压电马达

对于某些高精度的测量和精密加工,要求大位移量(50mm)、超微动量(纳米级)、且快速(1mm/sec)的定位驱动装置,以使滑架实现纳米精度的扫描和位移控制。我们已设计制造了“匀速压电马达”(CVPM),它是由两组夹紧器和两组促动器所组成,采用了双压电晶体片。按照交替的“推一拉”方法,并采用了闭环控制补偿其非线性运动误差,实现了连续直线微位移。本文阐述了压电马达的连续微动原理、结构特性、双压电晶片的设计,以及马达效率的计算。     

可换向超声线性马达速度控制特性的研究

可换向超声线性马达速度控制特性的研究陆伯印，曲兴华，赵美蓉（天津大学精仪系）０引言利用超声能量驱动马达的原理是：在一个传输棒（或板片）上，受安放在两边的两组压电晶体激励时，使棒上产生一个超声挠曲表面波，通过摩擦力驱动与之相配的滑块运动。其激励条件已由...     

三坐标测量机误差补偿方法的研究

本文在分析了三坐标测量机系统误差补偿方法的基础上，提出了一种新的误差补偿方法－１２项法；建立了系统误差数学模型，并对该模型进行算法分析，展示了该方法在产品中的应用前景及方向。     

带有三维激光干涉仪和压电位移执行器的新型主动隔振系统

我们为超精密测量系统开发了一种新型主动隔振系统。它由三套三维激光干涉仪传感器及六组压电位移执行器组成，以限制空间运动的六个自由度。实现实时补偿振动的功能。     

新型高精度 V 形滑动摩擦导轨的研究

精密机械和仪器需要高精度的导轨,滑动摩擦导轨与滚动或静压导轨相比,结构简单、导向性好、导轨谐振频率高,再加上新型减摩材料的应用,在高精度导轨领域中,滑动摩擦导轨有着广阔的发展前景.这里,设计出一种新型的 V 形滑动导轨,对导轨的选材、结构及性能作了研究,特别是对导轨的摩擦、磨损与润滑进行了实验分析,对选用的导轨副材料的摩擦系数进行了测定.从而对这一类型的滑动导轨有了深入的认识.本文阐述了导轨的结构设计、材料的选择、磨擦、磨损与润滑性能的实验分析.     

SZB-1000型悬臂式三座标测量机研制技术的探讨

SZB-1000型悬臂式三座标测量机是我们自行研制的高效率的生产型精密测量仪器。该仪器测量范围为,x向930mm,y向450mm,z向250mm;测量标准器采用每毫米25线的金属反射光栅,分辨率为2μm;各向测量的不确定性±10μm;单点测量重复性小于±1μm。本文就研制该仪器中的某些技术问题作大略介绍。     

利用压电原理的直线电动机及控制

为实现微小位移要求,驱动电动机应具有高分辨率及稳定、大行程的能力,其控制应具有较高的自动化、智能化,现在广泛采用磁致伸缩及电致伸缩等方法实现以上目标.本文介绍了一种利用电致伸缩原理,用压电转换元件的变形带动传动轴完成精密直线位移的电动机.它不同于普通的电动机,它有独特的运动原理和控制思想,是一种特殊的机械结构和电气控制的完整系统,该电动机不加任何减速机构直接可以实现纳米级的连续微位移,并具有一定的带载能力.     

三坐标测量机转动装置的设计

本文阐述了一台三坐标测量机滑动螺旋机动装置的设计，由机械定位引起的误差小于2μm，且在高进给速度下，保持平稳运行。机械机构简单，安装调试方便，使用寿命长，灵敏度高，耐磨，无间隙，实现了电机与负载的最佳匹配，此传动装置已在经改造的FERRANTI三坐标机上使用，补偿后精度可达3μm以下。     

一种高精度三向小位移测量装置

本文介绍一种全新的三向小位移测量装置。本装置的突出特点是体积小,能在较大范围内获得较高精度的测量结果。可在三坐标测量头中使用,也可应用于三向振动的测量。本装置适用于被测体只做三个方向平动而绕三个方向转动小于5′的情况。