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用腐蚀剥层并结合阳极氧化染色和磨角阳极氧化染色两种方法测试了半开管扩散InSb器件p-n结的结深.两种测试方法结果基本一致。通过结深,对控制扩散条件和其它工艺条件用于半开管扩散法制作16元、42元InSb探测器提供了一个依据.  相似文献   
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