等离子体刻蚀过程的APC技术研究进展

先进过程控制(APC)是一个多层次的控制系统,其包含了实时的设备及工艺控制和非实时的RtR控制.APC引入等离子体刻蚀过程控制可极大提高刻蚀机的使用效率.针对等离子体刻蚀过程,本文分别从实时控制和RtR控制两个不同层次展开了论述,概述了RtR控制器中所使用的线性回归模型和神经网络模型.最后,讨论了APC技术的发展趋势.     

公路软土地基处理方法研究

从加固机理、加固效果、适用范围三方面介绍了公路地基及高速公路软基处理的方法，指出了公路软基处理既有研究存在的问题，对地基加固处理方法提出了合理化建议。     

变水量系统Smith-模糊PID复合控制方法

针对集中空调冷水系统存在非线性、滞后性大、时变性强等特点,提出了一种Smith-模糊PID复合控制方法。首先构建了集中空调冷水系统的数学模型;其次分别介绍了模糊PID和Smith预估补偿的原理;最后结合两者优势,提出根据系统状态决定是否应在模糊PID控制的基础上加入Smith预估补偿的复合控制方式。仿真对比表明:采用该控制方式后,系统能够快速达到设定值,动态性能较好,并且抗干扰能力强,即便系统参数发生变化,依然能够保持较好的适应性。将此控制方法应用到实验平台上,实验数据表明,相较于传统PID控制,Smith-模糊PID复合控制具有更好的节能效果。     

化工用途：是否可以成为LPG消费的主流？

液化石油气（简称LPG）是传统的气体能源,我国2012年LPG总消费量2488万t,净进口231万t,国产产量为2258．6万t。但近年来,LPG总体消费量小幅增长的同时,下游消费结构也随着LPG深加工的兴起发生着变化,未来LPG燃料用途的主导消费地位是否会被动摇的问题备受业界关注。     

超高效液相色谱-离子肼质谱联用法测定米粉中甲醛

建立了一种超高效液相色谱-离子肼质谱联用技术测定米粉中甲醛的方法。采用2,4-二硝基苯肼溶液作为衍生液,将甲醛衍生成甲醛-2,4-二硝基苯腙后,经C18柱分离,采用电喷雾离子源(ESI),多反应监测(MRM)→相关信息扫描(IDA)→增强子离子扫描(EPI)的联合扫描模式,建立甲醛标准对照品数据库,并通过谱库检索,将阳性可疑样品EPI谱图与标准谱库进行对比确证,可有效排除假阳性。在质量浓度为0.01-1μg/mL的范围内,方法的线性关系良好,相关系数r0.995,检出限为0.05 mg/kg,平均回收率为91.7%,RSD为2.08%。该方法前处理简单、灵敏度高、专属性强,能准确地对样品中非法添加的甲醛进行定性和定量测定。     

单型掺杂柱电极的3D硅像素探测器的器件与制造工艺研究

设计了一种新的3D硅像素探测器的器件结构以简化制造工艺.该结构仅包含一种掺杂类型的柱状电极.通过工业级TCAD仿真对这种结构的电学特性进行了深入研究,阐述了它的技术优势及潜在缺陷.同时研究了制造这种3D硅像素探测器的特殊工艺流程和相关关键工艺,并给出了主要工艺结果.     

除尘降噪打磨设备的设计

本项目将除尘和降噪的原理进行了分析，并将其进行综合，运用到了打磨设备上，解决了机械加工企业经常碰到的打磨噪音大、粉尘难以收集的问题。     

全新深亚微米X射线T型栅工艺

GaAs半导体材料可以提高器件运行速度，日益引起人们的注意，但是也给器件制造带来了许多问题。在本个，一个全新的可应用于HEMT器件的深亚微米X射线T型栅工艺被提出来，该工艺采用三层胶方法，曝光实验是在北京同步辐射3BlA束线上进行的，并且取得了好的结果。     

从成本竞争转向价值竞争

2010年,中国服装行业正处在后危机时代的行业恢复期和格局转型的起跑期。这一年,行业进步提升与各种新旧制约因素交织并存。     

基于MEMS技术的红外成像焦平面阵列

选用Au和LPCVD的低应力SiNx薄膜材料,采用MEMS技术研制了新型间隔镀金热隔离结构的薄膜镂空式非制冷红外成像焦平面阵列,并应用光学读出的方法成功地在室温(27.47℃)背景下获得了人体的热像.实验证明间隔镀金热隔离结构的引入有效抑制了热传导对变形梁温升的限制,从而大大降低了系统的噪声等效温度差(NETD),NETD达到约200mK.