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用氧化多孔硅方法制备厚的SiO_2膜及其微观分析 总被引:4,自引:3,他引:4
用氧化多孔硅的方法来制备厚的 Si O2 成本低 ,省时 .氧化硅膜的厚度 ,表面粗糙度和组分这三个参数 ,对波导器件的性能有重要影响 ,扫描电子显微镜 ( SEM)、原子力显微镜 ( AFM)和俄歇分析得到 :氧化的多孔硅的膜厚已达 2 1 .2μm;表面粗糙度在 1 nm以内 ,Si和 O的组分比为 1∶ 1 .90 6.这些结果表明 ,用氧化多孔硅方法制备的厚 Si O2 膜满足低损耗光波导器件的要求 相似文献
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为研究装配式钢-混凝土组合管(SRCT)剪力墙的抗震性能与承载能力,完成了4个足尺SRCT剪力墙试件和1个足尺钢筋混凝土(RC)剪力墙试件在水平荷载作用下的拟静力试验,对其破坏形态、滞回曲线、刚度和承载能力等进行了分析。结果表明:SRCT剪力墙具有较大的刚度和承载能力,滞回曲线饱满,表现出良好的抗震性能;与RC剪力墙相比,SRCT剪力墙墙肢上裂缝较少,墙肢根部混凝土破坏程度较低;SRCT剪力墙的破坏形态随钢板厚度的增大由U形钢和钢板屈服断裂转变为焊缝破坏,工厂制作时需保证薄钢板与U形钢和法兰的焊接质量,避免焊缝破坏的发生;建立了SRCT剪力墙承载力计算模型,推导了SRCT剪力墙的初始刚度和承载力计算表达式,理论计算结果与实测结果符合较好。 相似文献