厚膜力敏传感器及其应用

本文概述厚膜力敏传感器的原理和技术特点以及国内外１０多年来研究、开发的概况。重点介绍了目前国内厚膜力敏传感器的性能及应用。探讨了加快我国厚膜力敏传感器技术创新和产业化的若干问题及建议。     

电容式压力传感器的厚膜集成化研究

本文采用厚膜传感技术研制电容式感压元件，并通过厚膜混合集成技术和工艺交叉将信号处理电路集成在感压元件上成为一体，进行电容式压力传感器的厚膜集成化研究。结果表明，研制成的新型厚膜电容式集成压力传感器，线性达到0．5％，迟滞小于0．5％，重复性好。具有受分布电容、寄生电容影响小，抗干扰能力强，精度高，抗过载、耐腐蚀等特点。     

厚膜压力传感器

厚膜压力传感器为新型应变式压力传感器。具有工作温度范围宽、耐腐蚀、蠕变小、漂移小、成本低廉、性能／价格比高等特点。本文介绍其设计原理、构造、工艺，并对厚膜应变电阻工艺与力敏特性的影响进行了讨论。此外，对传感器的主要性能指标及应用也作了必要介绍。     

厚膜压力传感器的设计和研究

阐述了厚膜力敏浆料基本配方和工艺,传感器设计及有关原理。並对厚膜电阻(TFR)工艺条件对力敏特性的影响和关系进行了一些探讨。对研制成功的传感器主要性能指标及开发应用前景也作了介绍。     

基于ADuC824的智能厚膜微压力变送器的设计

针对厚膜微压力传感器的特点，介绍了基于ADuC824的智能厚膜微压力变送器的硬件设计和软件设计，并对变送器的非线性和温度补偿方法进行了探讨，结果表明：利用单片机的强大功能，实现了智能变送器的非线性校正、零点和温度补偿，具有电路结构简单、稳定性好、误差小、测量精度高等特点。     

钉基厚膜应变电姐力敏模型的初始讨论

摘要：通过分析钌基厚膜应变电阻的隧道势垒模型，提出力敏模型。     

钌基厚膜电阻传导模型初探

介绍钌基厚膜电阻的三种传导模型。三种模型都可以得到较满意的R—V曲线，不足处是链模型得出电阻率和导电相粒子形状及尺寸的关系和实验事实不符；有效介质模型不能反映厚膜电阻形成过程中众多因素的影响；渗透模型很多参数的获得有赖经验公式。渗透模型能反映烧结过程中更多因素的影响，并可解释方阻与导电相粒度及峰值温度的变化关系。     

力传感器用陶瓷双孔梁及其力学特性

研制了一种可用于应变式厚膜力传感器，量程达５００Ｎ的新型陶瓷双孔梁。该弹性梁采用９５％Ａｌ２Ｏ３瓷热压铸成型加工。应变电附为钌酸盐厚膜电阻，并直接印烧在弹性梁上。     

新型应变式厚膜力传感器及其应用

介绍一种可用于称重与测力的电阻应变式厚膜力传感器.其弹性体采用95%Al_2O_3陶瓷双孔梁、应变电阻为钌酸盐厚膜应变电阻,并运用厚膜工艺将应变电阻直接印刷、烧结在弹性体上而形成整体.它的量程最高达500N,精度为0.05%,工作温度达-40～ 120℃.     

厚膜电容式集成压力传感器压元件研究

采用厚膜技术研制新型电容式集成压力传感器用感压元件。具有抗干扰能力,灵敏度高,受分布电容、寄生电容影响小、耐腐蚀,耐高温的特点。文中主要介绍其电容式感压元件的原理、设计,并对非线性等相关技术及工艺问题进行了探讨。