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1.
采用等离子体氧化和逐层(layer by layer)生长技术在等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)系统中原位制备了SiO2/nc-Si/SiO2的双势垒纳米结构,从nc-Si薄膜的喇曼谱中观察到结晶峰,估算出该薄膜的晶化成分和平均晶粒尺寸分别约为65%和6nm.通过对该纳米结构的电容-电压(C-V)测量,研究了载流子的隧穿和库仑阻塞特性.在不同测试频率的C-V谱中观测到了由于载流子隧穿引起的最大电容值抬升现象.通过低温低频C-V谱,计算出该结构中nc-Si的库仑荷电能为57meV.  相似文献   
2.
等离子体氧化nc-Si/SiO_2多层膜的蓝光发射   总被引:1,自引:0,他引:1  
报道了在等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)系统中用交替淀积 a-Si对其进行原位等离子体氧化的方法制备了 a-Si∶H/ Si O2 多层膜。随着 a-Si∶H子层的厚度从 3 .8nm减小到 1 .5 nm,a-Si∶H/ Si O2 多层膜的光吸收边和光致发光 (PL )出现了蓝移。在晶化的 a-Si∶ H/ Si O2 多层膜中不仅观察到室温下的红光带 (80 0nm)的发光峰 ,而且还观察到蓝光发射 (4 2 5 nm) ,结合 Raman,TEM和 PL测试 ,对其原因作了简单的分析  相似文献   
3.
等离子体氧化制备超薄SiO_2层的性质   总被引:5,自引:1,他引:4  
利用等离子体氧化方法在单晶硅片上制备了厚度小于 10 nm的超薄 Si O2 层 .通过傅里叶红外光谱 (FTIR)、X射线光电子谱 (XPS)、透射电子显微镜 (TEM)、椭圆偏振法和电流电压 (I- V)、电容电压 (C- V)测量对生成的超薄氧化层性质进行研究  相似文献   
4.
采用等离子体增强化学气相淀积 (PECVD)生长技术结合限制性结晶原理 ,采用与硅平面工艺相兼容的准静态热退火方法 ,使 a-Si:H层晶化 ,制备出了高密度的、尺寸均匀的 nc-Si薄膜 ;利用 Raman散射和透射电镜 (TEM)技术 ,分析了样品的结构特性 ;采用 C-V测量方法 ,通过对退火和未退火样品的对比分析 ,对该三明治样品的电学性质进行了研究 ,观察到 nc-Si薄膜的电荷存储现象 ,并且该现象与 nc-Si层的厚度有着明显的关系。  相似文献   
5.
去年11月18日下午,无锡市南长区城市管理行政执法大队队员赵宝祥,从市城管行政执法局、市公安局城市管理治安办公室领导的手中接过“无锡市见义勇为基金会”颁发给他的500元见义勇为奖金及南长区城管行政执法局颁发的荣誉证书,成为无锡市城管行政执法队员获得见义勇为殊荣的第一人。  相似文献   
6.
激光干涉结晶法制备三维有序分布的nc-Si阵列   总被引:1,自引:0,他引:1  
利用准分子激光干涉结晶法使a Si∶H/a SiNx∶H多层膜中的超薄a Si∶H层定域晶化 ,成功地制备出三维有序分布的nc Si阵列。原子力显微镜 (AFM )、微区拉曼 (micro Raman)光谱及剖面透射电子显微镜 (X TEM)的分析结果揭示在晶化薄膜中已形成平均尺寸约为 3 6nm ,横向周期 2 μm ,纵向周期与a Si∶H/a SiNx∶H多层膜周期 (14nm)相等的nc Si阵列。  相似文献   
7.
<正> 一、现代社会正面临能源的严峻挑战地球是太阳系中不大的行星,但它正在超负荷下运行。在地球上生活的除了数以万计物种的动植物外,仅人类就已经超过50亿,而且正以惊人的速度增长着。据1988年统计,全世界消耗的商品能源已经达到80.58亿吨油当量。由于大量燃烧化石燃料(煤、石油、天然气等),给现代社会带来许多难以解决的问题。这些问题包括能源资源的短缺;森林植被遭破坏:大气、水系、上壤被污染;二氧化碳增多导致的温室效应;臭氧层空洞的出现带来的危害;气候条件变坏,自然灾害增多等等,这些问题都与能源利用有一定的关系.  相似文献   
8.
利用等离子体氧化方法在单晶硅片上制备了厚度小于10nm的超薄SiO2层.通过傅里叶红外光谱(FTIR)、X射线光电子谱(XPS)、透射电子显微镜(TEM)、椭圆偏振法和电流电压(I-V)、电容电压(C-V)测量对生成的超薄氧化层性质进行研究.  相似文献   
9.
采用等离子体氧化和逐层 (layer by layer)生长技术在等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)系统中原位制备了 Si O2 /nc- Si/Si O2 的双势垒纳米结构 ,从 nc- Si薄膜的喇曼谱中观察到结晶峰 ,估算出该薄膜的晶化成分和平均晶粒尺寸分别约为 6 5 %和 6 nm.通过对该纳米结构的电容 -电压 (C- V)测量 ,研究了载流子的隧穿和库仑阻塞特性 .在不同测试频率的 C- V谱中观测到了由于载流子隧穿引起的最大电容值抬升现象 .通过低温低频 C- V谱 ,计算出该结构中 nc- Si的库仑荷电能为 5 7me V.  相似文献   
10.
IPSec是实现VPN安全的关键技术之一。该文简单介绍了IPSec协议的架构,提出了IPSec协议处理的软件硬件化思路,即通过硬件处理的方式来提高IPSec协议的处理速度和处理容量,并给出了相应的IPSec VPN系统的硬件部分和软件部分的具体设计和实现,最后是关于该系统的总结。  相似文献   
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