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用划痕法测试了不同成分的Ti-Al-N系功能梯度薄膜及其均质薄膜的膜基结合力。结果表明,Ti-Al-N系功能梯度薄膜的膜基结合力高于均质膜,且随着氮分压变化间隔的增加,结合力逐渐增大。基于膜基匹配及残余应力与结合力的关系,合理地解释了成分梯度对Ti-Al-N系功能梯度薄膜结合力的影响。 相似文献
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