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应用载荷识别技术的一种转子动平衡方法 总被引:1,自引:0,他引:1
在对载荷识别理论深入分析的基础上,提出了一种新的转子动平衡方法,同传统的平衡方法相比,该方法对任意类型的转子可以实现三次启动(包括测量原始振动、加试重组振动测量和平衡结果检验)完成动平衡。文中引入了全息谱技术,因而对信息的利用也优于传统方法。本文的重要意义在于减少了机组的起动次数,而又不降低平衡精度。 相似文献
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利用SF6/C2ClF5,SF6/CCl2F2,SF6/CCL2F2/O2等氟氯族混合气体,在普通的平板型反应离子刻蚀系统上,进行了反应离子深刻蚀硅的研究。在Cr膜的掩护下,SF6/C2ClF5刻蚀硅的速度,但刻蚀的方向性差;SF6/CC12F2和SF6/CCl2F2/O2都可获得各向异性的刻蚀工艺,刻蚀速率在200-500nm/min之间。 相似文献
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砂轮表面轮廓的分形探索 总被引:2,自引:0,他引:2
提出了用分形几何的方法描述砂轮表面轮廓形貌。采用结构函数法计算砂轮表面周向轮廓的分维数d和拓扑常量c。综合应用分形参数d和c,能提供不依赖于尺度的砂轮轮廓形貌的描述方式,可有效地识别砂轮的磨粒大小、表面的磨损状态等。 相似文献