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为了解决长寿命、高可靠真空器件的封装检漏需求,研制出下限可达5×10^(-16)Pa·m^3/s的高精度超灵敏度检漏仪。当前基于动态分流原理的通用检漏仪由于引进质谱计分析室的示漏气体量小致使实际检漏下限为10^(-11)Pa·m^3/s,通过软件修正实现的检漏下限可达10^(-12)Pa·m^3/s;基于累积法的超灵敏度检漏下限可达5×10^(-15)Pa·m^3/s,该方法采用商用漏孔作为参考标准,通过线性递推得到的检漏结果偏差可达一个数量级以上,严重影响特殊应用领域器件的高可靠性和寿命。本文在原有的研究基础上,提出累积比较检漏方法。在特殊加工的累积室中对示漏He气进行累积,使其形成的分压力在质谱计测量范围内;通过对累积室内壁的特殊工艺处理获得了更小的示漏气体本底压力;用新研制的下限为5×10^(-16)Pa·m^3/s高精度流量计作为参考标准比较获得被检测器件漏率,避免传统采用自身偏差较大的漏孔作为参考标准和使用线性递推得到漏率引入的较大偏差。实验结果证明,所研制装置的检漏范围为10-12～5×10^(-16)Pa·m^3/s,检漏结果的不确定度为5. 3%～13%。 相似文献
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本文以武铜炼钢总厂四分厂连铸车间现有设备为基础,介绍了浸入式水口一键快换控制体系、工艺过程等内容,明确了一键快换技术是采用基于结晶器液面自动控制的水口自动快换技术。实际生产中,通过试验不断解决一键快换中遇到的问题,使该厂的一键快换成功率从开始时的76％左右提高到当前99％以上的稳定状态。后工序水口更换过渡坯夹杂改判量较采用一键快换技术之前减少了30％,明显提高了水口坯质量。 相似文献
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以风电为代表的新能源近年在山东电网快速发展,为实现在保证大电网安全下新能源的有效消纳,研究相适应的调度运行模式、并开发新能源调度技术支持系统是必要和急迫的。首先从三个方面分析提出山东新能源调度运行模式:协调型计划编制及功率调整、精益化运行方式安排、全方位信息技术支撑;在此基础上,重点就技术支持系统架构、功能、技术特点进行分析。该系统基于D5000平台实现新能源监控、预测、管理功能于一体,具备完善、可行的有功和无功控制手段,多方式建模和在线优化技术提高了预测的适应性和精度,同时系统接入了涵盖每台风机的丰富信息,为运行监控提供了有力支撑;最后给出下一步工作建议,以期为相关研究建设工作提供参考。 相似文献
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针对当前分子泵抽速测试装置自动化程度低,压强实验点难以调节等问题,设计出一套分子泵抽速自动测试软件,以LabVIEW为软件开发平台,采用RS485通信实现对真空计、气体质量流量控制计、温度控制仪的数据采集和设备控制;采用PID控制方法调节气体质量流量控制计的通气量,实现对压强实验点的稳定控制;采用继电型PID参数自整定技术提高算法对系统的适应性、该软件提高了分子泵抽速测量工作中数据采集和压强调节的自动化程度,减少了人员操作对测量过程的影响,使测试过程更加科学规范,对分子泵抽速测试技术研究和应用具有一定参考价值。 相似文献
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针对热阴极电离真空计电参数校准装置中电流源设计的关键技术, 本文提出一种用于真空计电参数校准的内置单运放电流源及其非理想化低频等效模型, 并通过PSPICE仿真对电路性能进行分析。装置适用于100 MΩ~100 GΩ负载条件, 负载为1 GΩ时输出电流相对变化率为0.3×10-6。解决了当前热阴极电离真空计电参数校准装置电流源不适用于低位离子流采样的超高电离真空计的问题, 达到校准不同型号热阴极电离真空计离子流放大器的效果, 为电参数校准装置的研制提供理论依据及参考。 相似文献
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0 引言发电机元件是电力系统中的主要元件 ,为保证电网的安全、可靠运行 ,电网调度人员必须时刻掌握和控制各发电机组的运行工况 ,了解其运行参数的变化。山东省调引进的 EMS中没有显示发电机运行工况的应用工具软件 ,故将山东省若干个电厂运行的发电机运行图应用软件引入 EMS,在实际运行中收到了很好的效果。1 发电机运行图简介在原有发电机 P—Q容量图的基础上 ,改进形成一套新型的发电机运行图 [1]。目前发电机制造厂都随机提供发电机运行图 (P— Q容量图和 U形曲线图 ) ,但在实际应用中发现 ,这些图的精度不能令人满意 ,其原因有… 相似文献
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