HCl电子气体超纯纯化技术研究

报道了负载型超纯纯化材料及实验纯化器自主研发进展。通过超纯纯化,5N HCl电子气体中的水分,可由10-6(体积分数)级降至100×10-9(体积分数)以下,且重现性良好,水分最低降至12×10-9(体积分数);纯化过程不额外释出痕量的挥发性金属杂质,对HCl中的多数金属杂质有吸附滞留作用。