基于多目标决策方法的反应离子刻蚀机约束环优化设计研究

从反应离子刻蚀设备腔室内部结构细节角度出发,研究腔室约束环对以450 mm为代表大晶圆尺寸刻蚀机流场影响。与同类研究相比,本文旨在突出研讨仿真模型的精确性与边界条件比较设置准则的重要性。本文首先介绍刻蚀机腔室约束环的结构及其功能并提出高精度粘度修正的实现方法并计算腔室流体气压分布。提出了腔室气压分布的多目标问题,采用遗传算法求解,并通过多目标决策对优化结果进行评价和排序,得到最适合的优化结果。最后,给出约束环设计结果并得出约束环可以优化腔室内气流分布轮廓的结论。     

刻蚀机装备设计中的序贯试验设计方法研究

450mm晶圆刻蚀机开发中大量应用确定性仿真来模拟腔室内部物理、化学环境,并通过仿真结果指导装备结构的详细设计。为控制仿真试验的采样规模以缩短开发周期,本文详细介绍一种新型的基于采样密度和非线性度的序贯设计方法。此方法通过蒙特卡洛方法,在设计空间中获得采样密度信息,进而对低采样密度区域增加采样点。另外,通过对每个采样的领域进行发掘,以获得采样的梯度和非线性度信息,进而对高度非线性的区域增加采样点。以450mm刻蚀机约束环设计模型和Goldstein-Price模型为背景,采用拉丁超立方和新型序贯设计方法同时采样,以代理模型精度和特征捕捉能力两个角度来对比采样结果的优劣,结果证明,在达到同样精度的前提下,新型序贯设计方法能有效减小采样规模,符合刻蚀装备设计的需要。     

锂电池极片辊压机刚度分析与结构优化

在锂电池极片加工过程中,由于其高能量密度要求与涂覆材料力学性能存在矛盾,故需要根据极片所需压缩比严格控制辊压力的大小,而实际中,轧辊特性使两辊之间窄缝距离的直接测定不容易,因此难以通过物理样机试验的方式直接得到生产过程中辊缝与辊压力之间的关系。针对该问题,简化了辊压过程中的物理量,建立了整机和极片变形的数学模型,利用数学模型间接得到整机辊压力与辊缝变化之间的定量关系。采用仿真驱动设计的方式,基于响应面法和多目标优化算法得到整机的设计优化结果。测试试验表明,简化的数学模型可以数字化地描述辊压机的工作情况,便于指导生产中控制极片的制造工艺参数,同时基于响应面的设计优化提高了辊压机的设计生产效率。     

基于快速成型原理的实物模型制作系统

模型是制图教学中不可缺少的教具,虚拟模型易于创建而实物模型的真实感更强,二者在目前的教学中均发挥着重要的作用.但遗憾的是,观摩这些现成的模型对学生来说是被动的认知,其效果远远不及引导学生自己来制作实物模型.论文介绍了一种基于快速成型原理的实物模型制作系统,利用一台电脑和打印机便可以快速、低成本地制作出各种复杂的模型.制...     

面向中小企业有限人员的经验任务分配策略

为保证生产计划的制定合理有效,提出根据任务相似度定量建立员工工作经验模型的方法,并根据经验值获得针对有限人员的多任务分配策略。针对员工按照以往任务的执行情况,对待分配任务的直接经验和间接经验进行了估计;建立了以同等时间中工作量最大为优化目标的任务分配策略;基于不断更新的"人员—任务"关系,最终实现根据员工能力实时的任务分配。通过比较实验发现,该分配策略可以保证在所有员工有限的时间内达到最大的工作量,同时有效提高了员工的工作水平,并保证了员工任务的负载均衡,对合理的工作计划制定具有指导意义。     

协同设计中基于约束的冲突检测与协商技术

从约束满足的角度 ,对协同设计中的冲突检测与协商问题进行了探讨 ,将产品约束网络按产品级、部件级、零件级和领域级分层管理 ,给出了基于约束验证和区间传播算法的冲突检测方法 ,提出了几个基于回溯策略和约束松弛策略的冲突协商建议产生算法。在此基础上 ,构建了基于Web的协同设计冲突检测与协商系统 ,支持设计专家检测与协调冲突     

研究生精品课程建设的探索与实践--"现代CAD技术"课程的改革

作为研究生精品课程建设的探索与实践,分析了“现代 CAD 技术”课程的国内外状况及原课程教学的优缺点,确立了以少量讲座为先导,以项目训练为主线,注意5 种能力培养的课程建设的指导思想。提出了由三部分内容组成的新的教学体系,并对每一部分内容的教学安排作了详细说明。此外,阐明了对 6 种教学要素的处理方法。最后总结了课程建设所取得的初步成果。     

SIGRAPH—DESIGN环境下的机构装配设计技术

研究了在智能ＣＡＤ系统ＳＩＧＲＡＰＨ－ＤＳＩＧＮ环境下进行机构装配设计的途径，给出了要领设计，装配设计和零件设计的一般方法，并以胶印机中凸轮一连杆机构为例，采用自顶向下的装配设计方法，