UV-LIGA深度光刻机平滑衍射技术研究

UV-LIGA深度光刻技术是加工微型机电系统的一项重要的微细加工技术。介绍了一种平滑衍射效应的位错强度叠加原理，它采用了蝇眼积分透镜去平滑衍射，并模拟数值计算了硅片表面的光强分布，最后给出了光刻结果。     

负相依随机变量序列延迟平均的一类极限定理

研究负相依随机变量序列延迟和的一类强大数定理以及强收敛性.利用随机变量截尾方法建立负相依随机变量的概率不等式和矩不等式,在矩条件E(exp{t|X1|})＜∞(p＞1)下,获得了负相依随机变量延迟平均的强大数定理、完全收敛性以及(log n)-p∑n+1[log'n]k=n+1Xk的上、下界,推广了若干经典结果.     

康山蓄滞洪区洪水风险图研制分析

根据康山蓄滞洪区基础资料,分析不同洪水风险图编制方法,并研制了康山蓄滞洪区洪水风险图,给防汛部门实施指挥决策、抢险救灾提供依据,确保康山蓄滞洪区分洪运用前人员安全及时转移,最大限度地避免人员伤亡,减轻财产损失.     

光刻投影物镜畸变检测中的位移测量误差分析

在光刻投影物镜的畸变检测中,位移测量误差是光刻投影物镜畸变检测的重要误差源之一,深度分析误差源并减小误差项,可提高光刻投影物镜的畸变检测精度。本文将运动台的定位与测量技术相结合,着重分析利用夏克-哈特曼波前传感器对投影物镜进行畸变检测时像质检测台的位移测量误差。并以一套投影物镜像质检测台为例,对其在投影物镜畸变检测中的位移测量误差进行分析,利用该像质检测台对某一投影物镜进行畸变检测,畸变检测结果约80 nm,其中该像质检测台的位移测量误差会给畸变检测结果带来约22 nm的不确定度。     

视频压缩播放高手RAD Video Tools

RAD Video Tools是由RAD game tools公司制作的一款视频处理软件。该软件原本是为方便游戏制作商制作多媒体视频互动游戏而开发的视频播放软件,但随着用户的不同反     

火电厂大容量锅炉水冷壁的三机吊装

针对火电厂大容量锅炉水冷壁吊装困难的问题，对三机吊装方案进行理论研究，介绍了吊点位置选择、强度校核及吊点位置调整方法。利用绳索总长不变为控制变形协调条件来求解超静定问题，进而求得水冷壁的最大应力，进行强度校核。此方法对其他一些细长构件同样适用，具有一定的实用性。     

滑动平均滤波在微弱脉冲信号检测中的应用

讨论滑动平均滤波这种简单而常用的算法,在微弱脉冲信号检测方面的应用,进行模拟仿真;同时还分析在单脉冲信号检测时,滑动平均滤波与相关检测之间的联系.     

接近式光刻机间隙分离机构设计

为满足接近式光刻设备中基片和掩模间隙分离的要求,设计了微动分离间隙机构.该结构由螺旋差动机构和杠杆机构组成.采用两同轴且旋向相同,螺距分别为0.7mm和0.8mm的差动螺旋副实现2μm的微动分辨力,进一步经1:2杠杆位移缩小机构实现1μm的间隙分离微调分辨力.试验表明,该机构达到了设计要求,满足了工作需要.     

小直径钢管混凝土浇筑技术

A380机库小直径钢管混凝土浇筑施工过程中,采用自密实C50混凝土,通过调整混凝土配合比,分节浇筑,泵管注入及辅助振捣措施。取得了良好的效果。     

超临界流体萃取天然产物的多级全混流模型

文章基于超临界流体萃取天然产物的柱塞流模型,推导出了通用性强且易求解的多级全混流模型,确定全混层数n、分配系数Γ和特征萃取时间Θ为影响萃取过程的三个主要参数。通过对模型的数值求解结果及参数敏感性分析表明,在文章参数选择范围内,即Γ>0.004、Θ>0.5的范围内,柱塞流模型可以近似地由n=10的多级全混流模型代替。