Si(100)和Si(111)衬底上的同质分子束外延

用超高真空电子束蒸发系统进行了硅的同质分子束外延.发现采用适当的表面化学处理方法,然后在超高真空中加热,可以在较低温度下(800—814℃)获得清洁和平整的有序表面.Si(100)和Si(111)的外延分别在520℃和714℃进行,外延膜的结构和电学特性良好.     

水准式车轮定位测量仪校准装置的设计

为了保障水准式车轮定位测量仪、便携式制动性能测试仪的量值统一和准确可靠,提出了一种水准式车轮定位测量仪校准装置。该校准装置依据现行有效的国家计量技术规范要求设计,基于光栅莫尔条纹原理测量位移量的传感器和增量式角度编码器研发,具有一机两用的综合校准功能。通过对校准装置的使用和实验数据比对分析,表明该校准系统的测量结果准确可靠,能够满足量值溯源的要求。     

分子束外延中的掺硼工艺

我们在硅分子束外延中利用共蒸发B_2O_3的方法在硅中进行硼掺杂,掺杂浓度可控制在4×10~(17)cm~(-3)至4.2×10~(19)cm~(-3)之间,这说明不需要利用离子注入或高温掺杂炉,也可以在硅外延层中实现有效的P型硼掺杂.我们还对掺杂外延层的质量进行了初步分析:外延层剖面均匀、没有明显的偏析现象;当硅源速率在 2A/s时,外延层中氧含量与衬底相同.     

X射线衍射技术在薄膜残余应力测量中的应用

残余应力测量在薄膜材料研究中具有重要的意义,综述了薄膜残余应力X射线衍射技术测量的研究现状,其中介绍了强织构薄膜残余应力X射线衍射测量技术;同时对由于G(o)bel平行光镜、毛细管元件及二维探测器等X射线功能附件的发展,以及同步辐射源X射线的应用而带来残余应力分析的新进展进行了介绍.     

打捆机在连续小型轧钢厂的运用

小型厂所使用的打捆机是目前八钢所引进的最先进的打捆设备。阐述了打捆机的基本结构 ,及其自动控制系统