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1.
介绍了某电厂国产600MW超,临界直流锅炉的整体概况,叙述了锅炉灭火事件的经过,并根据历史趋势图对灭火原因进行了分析和说明,同时提出了整改措施,以避免再次发生类似事件,确保锅炉长周期安全稳定运行,也为同类型机组提供借鉴。  相似文献   
2.
微反射镜和光纤自对准V型槽的制作   总被引:2,自引:1,他引:1  
用纯KOH水溶液和KOH +IPA混合水溶液在 ( 1 0 0 )硅片上沿 <1 0 0 >方向上腐蚀所暴露的平面是不同的。纯KOH水溶液中总是能暴露与衬底垂直的 {1 0 0 }面 ,在KOH +IPA溶液中 ,随着KOH的浓度不同将暴露 {1 1 0 }和 {1 0 0 }面。使用KOH浓度为 50 %的KOH +IPA溶液 ,在 ( 1 0 0 )硅片上一次掩模制作微反射镜和光纤自对准V型槽 ,微镜的表面粗糙度低于 1 0nm。  相似文献   
3.
分析了扭臂驱动结构的上电极端部位移与外加电压之间的关系,提出了一种具有倾斜下电极的驱动结构,并通过倾斜一定角度的(111)硅片的各向异性腐蚀制作了倾斜下电极.理论分析和实验结果表明,倾斜下电极的pull-in电压几乎比平面下电极的pull-in电压降低一半.  相似文献   
4.
采用MEMS技术制作了静电驱动的扭臂结构8×8光开关阵列,主要包括上下电极的制作.利用硅在KOH溶液中各向异性腐蚀特性及(110)硅的结晶学特点,在(110)硅片上制作出8×8光开关微反射镜上电极阵列,考虑到在腐蚀时微反射镜有很大的侧蚀,对开关结构进行了调整.在偏一定角度的(111)硅片上制作了倾斜的下电极.整个开关制作工艺简单,成本低.开关寿命大于1000万次,开关时间小于10ms.  相似文献   
5.
采用KOH溶液湿法腐蚀制作阵列光开关的微反射镜上电极.腐蚀表面的不平整影响了光开关的驱动扭臂结构的制作.采用合理配比的HF,HNO3和CH3COOH腐蚀剂对制作的微反射镜阵列硅片进行抛光处理,抛光后微反射镜表面和腐蚀的(110)面均有较大的改善,并且抛光不影响器件的结构,最后制作出了均匀一致的光开关阵列扭臂驱动结构.  相似文献   
6.
本文采用共沉淀法制备了一种Ca-Fe-Mg复合除氟材料,探讨了制备该材料的最佳实验条件,即Ca/Fe/Mg摩尔比为1∶2∶2,pH值为9,焙烧温度为100℃。对制备的吸附剂氟吸附试验表明:该吸附剂具有较好的吸附性能,吸附剂吸附受PO_4~(3-)影响,而受Cl~-、NO_3~-、SO_4~(2-)影响不明显,是一种吸附性能佳、适用性较广且价格低廉的除氟材料,能够适用于矿区高氟水氟处理。  相似文献   
7.
研究了在KOH溶液中(110)硅片的腐蚀特性,在保证(110)面的平整和{111}面的光滑的腐蚀实验条件下,利用(110)面和{111}面腐蚀选择比大,采用湿法腐蚀技术可以制作高深宽比结构的方式,在(110)硅片上设计制作出光开关用微反射镜.在腐蚀过程中光开关悬臂的凸角处产生了削角现象,利用表面硅原子悬挂键的分布特征对产生削角的原因作了合理解释,这为以后研究凸角补偿提供了理论依据.  相似文献   
8.
提出了非球面人工晶体的设计思路及方法,即根据个体人眼的角膜地形图,将其转换为波前图,获得Zemike系数Z40(球差)项,在该球差值基础上设计并得到非球面人工晶体结构参数.对植入9.5D和20.5D人工晶体的两实际患眼成像质量的模拟分析表明:以本丈方法设计的非球面人工晶体在对人眼系统的MTF,对比敏感度及离焦MTF的改善上都明显优于传统的球面人工晶体,光学性能良好.本文为非球面人工晶体的设计提供了切实可行的方法,并为其在临床上应用提供了一定的理论基础.  相似文献   
9.
采用MEMS技术制作了静电驱动的扭臂结构8×8光开关阵列,主要包括上下电极的制作. 利用硅在KOH溶液中各向异性腐蚀特性及(110)硅的结晶学特点,在(110)硅片上制作出8×8光开关微反射镜上电极阵列,考虑到在腐蚀时微反射镜有很大的侧蚀,对开关结构进行了调整. 在偏一定角度的(111)硅片上制作了倾斜的下电极. 整个开关制作工艺简单,成本低. 开关寿命大于1000万次,开关时间小于10ms.  相似文献   
10.
基于PDLC的可变光衰减器的研制   总被引:1,自引:0,他引:1  
介绍了一种新型的低成本、小体积的的液晶可变光衰减器的设计与制作.该衰减器采用聚合物分散液晶材料,使其填充在经过耦合的带透明导电电极的两根单模光纤的间隙里,利用聚合物分散液晶在不同电场强度下引起的光的散射效应的变化,来实现对光路能量的可控连续衰减.采用体硅微细加工技术术成功地制作出了这种衰减器,并对器件进行了测试,结果表明:当传输的光波长为1550nm时,该衰减器的插入损耗为0.85dB;衰减的最大范围为0.85dB-14.21dB;驱动电压范围9V~57V.  相似文献   
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