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1.
阵列波导光栅(Arrayed-waveguideGrating,AWG)是密集型波分复用(DWDM)系统中的关键器件之一。本论述了AWG的原理及其制作工艺(主要是反应离子刻蚀和化学气相沉积),分析了AWG的一些重要性能参数,提出了一些改进其性能的方法。最后,阐述了AWG在波长路由器、光上/下路复用器(OADM)、光交叉互连(OXC)等的应用。  相似文献   
2.
凹非球面检测的双计算全息图设计及制作   总被引:2,自引:0,他引:2  
谢意  陈强  伍凡  邱传凯  侯溪  张晶 《光电工程》2008,35(6):59-62
基于全息补偿检验非球面的原理,提出并设计了一种二元纯相位型双计算全息图.该全息图由主全息和对准全息两部分组成,用于检测非球面的主全息位于基底的中心,而对准全息位于其边缘,用来精确定位主全息,从而消除离焦、偏心及倾斜所引入的误差.两部分全息同心是实现对主全息准确定位的前提,为此,提出了"一次曝光,两次刻蚀"的制作方法,即一次性将两部分图形在同一块掩膜版上制作出,曝光一次后,基底经两次刻蚀制作出具有两种不同相位深度的双计算全息图.最后给出了一个检测?40、F2抛物面镜的双计算全息设计实例,并将其检测结果与自准直检测结果比较,二者吻合良好,验证了该设计方法的正确性及制作工艺的可行性.  相似文献   
3.
介绍了阵列波导光栅(AWG)在设计中要考虑的主要结构参数,制作材料,误差来源等,论述了利用CAD制作AWG所需SiO2光波导的化学过程及其特点,给出了我们制作的光波导的测试数据。给出了通过调整局部设计数据而得到的较好面型的激光直写AWG图形。介绍了我们利用PIE刻蚀得到的AWG实验电影片和利用ICP刻蚀AWG的可行性。  相似文献   
4.
连续面形微光学元件的深刻蚀工艺   总被引:2,自引:2,他引:0  
利用电感耦合等离子(ICP)刻蚀技术,在石英上刻蚀深连续面形微光学元件。分析了影响 深刻蚀工艺的烘焙条件、气体组分、自偏压和刻蚀温度等主要工艺参数,并对影响深刻蚀稳定性、均匀性、刻蚀污染与损伤等因素进行了探讨。通过实验,在石英上制作出深达55微米的浮雕微柱透镜,其面形峰值误差小于3%。  相似文献   
5.
掩模移动技术中的边框效应及其应用   总被引:4,自引:2,他引:2  
掩模移动技术是一种通过移动掩模调制曝光量的连续面形微光学制作技术,其工作的局限性在于该技术对所制元件的对称性要求高,因此限制了制作复杂面形的功能。本文从分析掩模移动过程中的边框效应入手,阐明了消除这一效应负面影响的办法,并利用它来降低掩模移动技术的对称性要求,在实验中制作出了面形复杂的连续浮雕微光学元件。  相似文献   
6.
基于微悬臂梁的化学传感器的灵敏度研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
基于探测的原理,在动态模式下,首先对不同结构梁的本征频率偏移量进行了有限元分析,结果表明三角形梁的灵敏度最高。然后重点针对不同结构参数的三角形梁进行了动态计算,获得了其频率偏移量随结构参数变化的关系曲线。另外,通过静态模式下的有限元计算,发现各种梁自由端的偏移量相同,表明它们的静态灵敏度与形状无关。最后,对三角形梁在不同测量模式下结构参数的优化设计进行了分析。  相似文献   
7.
汪为民  王强  邱传凯  陈泽祥  范斌 《半导体光电》2015,36(6):925-929,935
为研究MEMS静电驱动器的场电子发射效应,设计并加工了排斥驱动器和平行板驱动器两种不同结构的静电驱动器,实验测试了电极间漏电流随驱动电压的变化关系,验证了其满足场发射效应的FN理论公式,从而首次观察到静电排斥驱动器的场致电子发射效应.根据测试结果计算得到了所设计的两种MEMS静电驱动器的名义发射面积和场增强因子.由于器件自身的结构设计特征,平行板驱动器相对于排斥驱动器具有更大的名义发射面积和更小的场增强因子.  相似文献   
8.
半导体激光器(LD)输出光束受工作电流、个体差异的影响,发散角、输出光强出现波动。常规衍射光学元件(DOE)的激光光束整形设计只针对特定的输入输出光场,使用宽容度比较小。文中在LD 的整形中利用DOE 阵列化的处理,输入光场被分割成许多小单元,不同强度的光重新在成像平面内预定的区域内叠加,实现对光束的整形。用均匀平面波设计阵列DOE 每个单元,把高斯分布的球面波整形成品字形光强分布,衍射效率为90.53%,均匀性大约为96%;发散角在快、慢轴方向上2~16的范围内变化,均匀性为95.8%以上、衍射效率为90%以上;在离焦量16 m 内,光束质量变化不大。阵列DOE 提高了LD 光束整形系统的稳定性。  相似文献   
9.
微透镜列阵与红外探测器列阵集成芯片的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
在分析微透镜列阵光聚能原理的基础上,针对背照式256290铂硅红外焦平面探测器列阵 的结构参数,设计了衍射微透镜列阵,使入射光通过硅基底聚焦至探测器的各个光敏面上, 提高光能利用率从而增强探测能力。实验获得了微透镜列阵与红外焦平面集成芯片,并在热成像中取得了良好的结果。  相似文献   
10.
基于ISI-2802型激光直写系统原有基片的多图形对准方法,针对衍射光学元件(DOE)图形的特点,通过设计合理的对准标记、修改对准识别文件和实验,产生了一套适于DOE图形套刻的对准方案。其对准误差小,达到了系统规定指标。并实验研制出了16位相台阶的DOE,取得了良好的效果。  相似文献   
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