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1.
微氮硅单晶中新施主的形成特性   总被引:1,自引:1,他引:0  
借助于电学测量和低温(8K)红外分析技术,研究了微氮硅单晶中新施主的形成特性在650℃长时间热处理后,微氮硅单晶不产生新施主,其中氮破坏了新施主的可能形核中心低温450℃预退火能促进新施主生成,而高温1050℃预退火样品则同样没有新施主生成.  相似文献   
2.
铸造多晶硅中铜沉淀的电子束诱生电流   总被引:3,自引:0,他引:3  
利用电子束诱生电流(EBIC)研究了不同热处理条件下太阳电池用铸造多晶硅材料中的铜的沉淀特性,并与铜在普通直拉硅单晶中的沉淀行为进行了比较。EBIC观察发现,在铸造多晶硅中,热处理的冷却速率和结晶学缺陷(如晶界和位错)共同影响着铜在多晶硅中的扩散和沉淀性质。样品在快速冷却时,在晶界以及晶粒内形成了很高密度且分布较均匀的细小铜沉淀;而在慢速冷却时,则是形成密度较低,较大尺寸的铜沉淀。EBIC的衬度计算显示,慢速冷却下形成的铜沉淀具有更强的复合特性,且铜沉淀在晶界上的分布具有选择性。最后,讨论了铜沉淀在铸造多晶硅中的形成机理。  相似文献   
3.
重掺硅中氧的测定   总被引:1,自引:2,他引:1  
研究了重掺硅中氧的测定 ,实验首先选用轻掺 (ρ>10Ω· cm)样品分别用气体熔化分析法 (GFA法 )和傅里叶变换红外法 (FTIR法 )测氧 ,而后用 GFA法测定了重掺锑、砷、硼单晶的氧浓度 .实验发现用 GFA法和 FTIR法测氧 ,二者的结果成很好的线性关系 ,为便于比较可将重掺硅在 GFA法下的测定结果转换为 FTIR法下的测定结果 ,还对影响 GFA法测定结果的样品制取、样品处理、测试参数选择等方面进行了探讨  相似文献   
4.
研究了外加高压(1GPa)下对450℃热处理硅片中氧沉淀行为的影响.透射电镜观察表明相对于大气压下热处理的样品,高压处理的样品会产生密度更高、尺寸更小的氧沉淀,表明高压有利于小直径氧沉淀的生成.电学性能测试表明,高压下处理的样品其热施主生成浓度和生成速率远远高于常压下处理的样品,这表明热施主与低温热处理过程中生成的高浓度氧沉淀核心有密切的关系.  相似文献   
5.
本文在数值分析和实验数据的基础上,提出了用单色光高频光电导衰减法测量硅单晶少子寿命的表面复合修正公式。  相似文献   
6.
介绍了重掺锑硅单晶生长和应用中的主要特点,并对单晶生长过程中出现的关键问题,如锑的挥发、氧含量减少的原因进行了探讨并提出了一些解决办法  相似文献   
7.
利用低温红外光谱技术(8K),研究了微氮硅单晶中氧和氮杂质在高温1300℃退火时的性质,实验指出,在此高温退火时,硅单晶中的原生氮-氧复合体被逐渐分解,氮杂质以很高的扩散速率,迅速外扩散  相似文献   
8.
化学沉积法制备CdS薄膜及性质研究   总被引:4,自引:1,他引:4  
利用化学沉积(CBD)的方法制备立方相的CdS薄膜。实验表明,在无搅拌、柠檬酸钠作为络合剂的条件下,在溶液的配方为0.02mol/L的CdCl2、0.02mol/L的柠檬酸钠、0.05mol/L的CS(NH2)2的体系中,当pH值为11.5,溶液温度为80℃时,在ITO玻璃上沉积得到CdS薄膜的前驱体,再把所得的前驱体在350℃,N2保护下热处理两个小时经x射线衍射(xRD)和扫描电镜分析,表面薄膜是结晶良好、立方相、表面均匀光滑的CdS薄膜。随着热处理温度的提高,CdS薄膜的晶化程度有很大的提高,晶粒有明显的长大,其光学性能也有很大的改善。  相似文献   
9.
用三点弯方法研究微氮硅单晶机械强度   总被引:1,自引:1,他引:1  
通过三点弯方法研究普通和微氮硅单晶在室温下的机械强度 ,以及它们的高温抗弯强度 .实验发现 ,由于氮的掺入 ,硅片室温下的机械强度有明显的改善 ,同时证实了高温下氮对位错的钉扎作用 ;研究还指出 ,硅片表面状态和晶向对室温时机械强度也存在影响 .对室温下氮杂质增强机械强度的可能机理进行了探讨  相似文献   
10.
采用红外扫描仪、扫描电镜以及电子束诱生电流仪研究了不同温度和不同冷却速度下原生直拉单晶硅的铜沉淀规律. 红外扫描仪观察发现:只有在热处理温度高于800℃的样品中才能观察到铜沉淀团,表明在原生单晶硅中铜沉淀温度为800℃. 同时,红外扫描仪和电子束诱生电流谱仪照片显示,快冷(30K/s)时,形成高密度的小铜沉淀团;而慢冷(0.3K/s)导致低密度、巨大的星形铜沉淀团的形成. 实验还发现慢冷所形成的星形铜沉淀团对少数载流子具有更强的复合强度. 最后,讨论了原生直拉单晶硅中铜沉淀规律的机理.  相似文献   
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