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薄膜材料光学特性研究的椭偏光谱数据处理 总被引:2,自引:0,他引:2
椭偏光谱由于其独特性而广泛应用于薄膜材料的光学特性研究。文章综述了椭偏光谱数据处理中常用的物理模型,并对椭偏光谱的一般方法作了总结。 相似文献
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