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介绍四极质谱定量分析方法的典型应用实例。表明它确实能为科研与生产提供有价值的定量数据。介绍了器件的质量保证诊断分析和吸气剂实际吸气效果的评价分析。以表格的形式列出了各种实测结果。 相似文献
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根据质谱分析系统在极限真空情况下本底谱峰图的特征,再辅以H_2探测漏孔位置以及作被检样品静态关闭后的放气成分分析,最后作出是否漏气的准确判断,这是四极质谱计在应用方面的一个特色,它对质谱分析工作十分有益。(质谱计在探漏方面的作用已被人们注意到。) 本文从实用角度出发,作两点经验归纳。只包括10~(-9)托及以下真空度,尚无10~(-10)托以上真空度时漏气的经验。 相似文献
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一种实用的残余气体分压强定量测定方法及其应用 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍测定被分析残气样品分压强的一种实用的新方法,其实质在于用四极质谱定量分析与电离计测量的组合。将电离计读数压强转化成真实压强(计算值),进一步求出残气分压强。 相似文献
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黄理胜 《真空科学与技术学报》1982,(3)
《实用的常量气体四极质谱分压强分析方法》成果鉴定会,由中国电子器件工业总公司主持,于1982年1月10日至12日举行。通过对这一成果的汇报、讨论及现场测试(抽测),参加鉴定的代表认为,用四极质谱计进行气体分析,在电子工业等部门有着广泛应用。其定量分析方法及分析精度,一直是人们 相似文献
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为了满足残余气体分压强定量测定的需要,经探讨,提出了 DL-8ⅡA电离计规管 相对灵敏度β值的简易校准方法。本文介绍该方法的基本概念、公式及校准步骤与结 果。用本方法可以较方便地对常见气体进行β值测定,从而使本残气分压强定量测定 方法不必以复杂的压强标准为基础而具有实用价值。 相似文献
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黄理胜 《真空科学与技术学报》1989,(2)
传统的质谱定量计算是以解联立方程为基础的,本文介绍了与传统方法不同的四极质谱定量分析数据定量计算全过程,并着重介绍“迭加峰”解析、分压强计算及其微机程序。 相似文献
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常见混合气体的四极质谱定量分析方法及有效性评估 总被引:2,自引:1,他引:2
本文介绍了一种实用的对常见混合气体进行四极质谱定量分析的方法。 相似文献
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本文简要介绍了利用四极质谱定量分析技术对某离子管管内氢气分压强与氢发生器加热功率关系的测定结果,同时也给出了附在该离子管上的微型钛泵对管内残气成分影响的质谱分析结果。 相似文献