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GCr15钢广泛用于各类轴承制造.为提高其摩擦性能,用磁控溅射法在GCr15轴承钢试样表面沉积厚约100 nm的钽膜,再进行不同注量的50 keV碳离子注入.用Ф6的GCr15钢球做对磨试验,测试它们的摩擦性能,用SEM观察磨痕形貌.结果表明,处理后GCr15钢改性层的Ta2C含量随注量增加,摩擦性能得以提高.载荷1 N、滑动速度50 mm/s条件下,注入3×1017ions/cm2的试样耐磨性是原始试样的1.65倍;表面沉积钽膜后,摩擦系数由未处理前的0.8~1下降至0.5左右,钽膜注碳后摩擦系数更降至0.2~0.3,注入层主要以磨粒磨损为主. 相似文献
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银基体上铜等离子体基离子注入层的成分分布 总被引:2,自引:1,他引:1
研究了银基体上铜等离子体基离子注入 (CuPBII)层成分深度分布与试验工艺参数的关系。选择影响注入离子能量的脉冲偏压和注入剂量的不平衡磁控靶放电电流和靶基距作为试验参数 ,用X射线光电子谱 (XPS)进行注入层成分深度分析。结果表明 ,对较高的脉冲偏压 (80kV)、中等的磁控靶电流 (75mA)和近的靶基距 (2 0 0mm) ,容易形成厚的银铜过渡层 (7.6μm) ,且铜离子注入、铜原子的反冲注入与铜的沉积很好地匹配。与气体等离子体基离子注入不同 ,铜的沉积速率成为影响银铜过渡层的又一决定因素。 相似文献
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The Ti-C→DLC gradient composite films were characterized systematically. The elemental depth profile and elemental chemical state evolution were determined by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). The transmission electron microscope (TEM) and high-resolution transmission electron microscopy (HRTEM) were used to study the structure of interracial zone between DLC film and Ti-C layers. Results show that there are composition transition zone between DLC film and either Ti-C layer or steel substrate on condition that pre-deposited Ti layers on the steel substrate then plasma based bias deposited DLC films. In Ti-C graded layer, the chemical state of titanium and carbon are changed gradually.The structures of zone in Ti-C layer near the DLC film is consisted of random oriented nanocrystaUines TiC dispersed in amorphous DLC matrix. The structure of the zone between DLC film and Ti-C graded layer is gradually changed too. 相似文献
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1 INTRODUCTIONOwingtolowdensityandhighspecificstrength ,aluminumanditsalloysareextensivelyusedinmanyfields ,especiallyinaviationandspaceindustry .Butlowhardnessandlowwearresistanceoftenlimittheirengineeringapplications .Surfacemodificationforalu minumanditsalloysbyionimplantationoffersthepossibilityofwideningtheirapplicationswherehighwearresistanceandlowdensityarerequired[15] .Sincenitrogenionisconvenienttoobtainandeasytocontrol,andAlNhasexcellentmechanicalproperties ,nitrogenionimplant… 相似文献
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采用四极质谱仪测量了试验参数对高压脉冲增强射频磁控溅射PTFE靶等离子体气氛的影响规律。结果表明:增加脉冲偏压、脉冲频率、脉宽、射频功率和气压能提高Az离子对PTFE靶的溅射能力,增加空间中氟碳自由基的数量,其中各参数对峰位位于25.0aum处的氟碳自由基强度影响最大:脉冲电压从10kV提高到20kV能将该峰强度提高2倍;脉宽从40s提高到100μs强度提高80倍;频率从50Hz提高到200Hz强度提高4倍;溅射气压由0.1Pa提高到0.3Pa强度提高6倍;射频功率由200W提高到400W强度提高6倍。励磁电流能有效的约束氟碳自由基的空间分布。 相似文献
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Ti6Al4V合金等离子体基离子注氧层XPS研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用等离子体基离子注氧技术(O2-PBⅡ)对Ti6Al4V合金进行了表面改性处理,实验过程中改变注入离子能量的工艺参数,负脉冲偏压分别为10、20、30 kV,离子注入过程中样品台通油冷却以实现低温注入;用XPS对离子注氧层的深度、成分及化学结构进行了系统的分析.结果表明:随着注入离子能量的增加,Ti6Al4V合金表面改性层的深度明显增加,改性层的外层由一定厚度的TiO2组成,外层与内层基体之间存在Ti2O3和TiO;Al元素在改性层的外层以氧化物形式存在,且该氧化物趋于表面生长;在表面改性层的外层未发现V及其氧化物. 相似文献
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一、前言日本I.B.M公司藤泽工厂从事制造电子计算机附属设备。为实现工厂的方针目标,各生产线都在认真地处理业务。生产线操作者已达1000人以上(比上年增加50%),生产线业务处理已处于非常重要的地位。近年来,软件(以下简称S/W)的质量提高得非常快,然而,在S/W输入作业 相似文献
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用电子束蒸发纯硼,在硅片上沉积不同厚度的硼膜,然后用等离子体基离子注入(PBⅡ)技术在硼膜上注入氮以形成氮化硼(BN).用XPS分析膜的成分深度分布及化学价态;用傅里叶变换红外(FTIR)透射谱分析膜的结构.氮在膜中呈类似高斯分布,随着注入电压增大, 膜的N/B比增大且影响氮在膜中的分布,在较高的注入电压时,膜基间产生界面混合.对XPS B1s谱进行Gauss-Lorentz拟合表明:硼在膜中以BN及游离态两种形式存在.FTIR分析结果表明:当注入电压较低,时间较短时,膜中存在非晶态形式的氮化硼(a-BN);增大注入电压及注入时间,向六方形式的氮化硼(h-BN)转化;原始硼膜的厚度小有助于h-BN的形成. 相似文献
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