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电阻式湿度传感器的制作方法 总被引:1,自引:0,他引:1
现时,用于测量相对湿度的传感器有机械式、电阻式等多种。其中电阻式湿度传感器的感应速度较快,结构较紧凑,而且适应性也优于机械式传感器。其代表性产品如磺化聚苯乙烯薄膜式湿度传感器。就现有的电阻式湿度传感器而言,多采用与敏感层粘着方式,相互保持一定间隔,对所配置的一对薄电极间的电阻变化进行测量。一般感湿层的电阻都很高,或增大电极的对向面积,或缩小电极的间隔,以 相似文献
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巧用光学构件形成平行光束回转,使结构简单而小型化,脉冲检测采用次摆线扫描,缩短了检测时间,利用光一次回转周期的脉冲振荡模式,能识别被测元器件的不同表面缺陷(伤痕,裂纹,裂缝等)、分布密度及其交错状态. 相似文献
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半导体压力传感器的制造方法 总被引:1,自引:0,他引:1
原先的老式半导体压力传感器是按照薄膜的膜片受压变化来进行压力检测的。这种半导体压力传感器的制造方法是在硅片的整个表面上形成埋入氧化膜.构成上硅层、埋入氧化膜、下硅层3层结构,然后在上硅层钻出通向埋入氧化膜的内孔,并由此内孔注入腐蚀液,局部去掉埋入氧化膜,用所谓的西莫克斯(Simox)工艺形成薄膜的膜片。 相似文献
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