滚动压印装置研制与压印填充模拟

紫外滚动压印因其可以在室温下、普通大气环境中高效大面积地进行微结构制作而备受瞩目.利用自行研制的紫外滚动压印装置,实现了微结构的快速复制.实验中发现当压印速度达到某一特定值时,会不可避免地产生气泡缺陷.采用流体软件Fluent对滚动压印充填过程进行分析,来研究气泡缺陷的产生机理.结果表明,压印速度过高导致空气被堵在图形空腔内,最终形成气泡缺陷.同时,低黏度的胶液和小的接触角更利于模型填充.此研究对于获得优化的滚动压印工艺具有一定的意义.     

主动隔振系统的并行设计方法研究

针对传统的串行设计方法很难使主动隔振系统性能达到全局最优这一问题,提出了一种基于线性矩阵不等式(LM I)的主动隔振系统机械结构参数及其控制器的并行设计方法.该方法将主动隔振系统机械结构及控制器的设计结合起来,从提高系统隔振效果出发,得到了系统机械结构参数和控制器的最优设计准则.给出了一个运用此方法进行超精密隔振平台并行设计的实例,理论分析和仿真计算结果表明,并行设计的主动隔振系统较传统串行设计的系统能够明显降低隔振对象的振动位移,从而有效提高系统的隔振效果.     

基于Web的CAD系统中NURBS曲线的实现方法与探讨

提出一个解决AutoCAD中Spline闭合曲线的起点相关性和形状易发生畸变等问题的新方法,实现曲线的形状唯 一性,使其更适合工程实际的需要。利用Java编程在自行研发的基于Web的CAD系统中,实现了NURBS曲线的生成、 修改和控制功能。     

基于CUDA的边遍历算法

基于几何着色器的边遍历算法效率主要受色器硬件规格的影响。为此,提出一种基于CUDA的边遍历算法,使用CUDA模拟实现顶点着色器与几何着色器功能,避免硬件限制。同时针对CUDA内存高效读取的合并访问要求,提出二步骤的三角形网格顶点分块、重排序算法,优化几何着色器模拟时顶点数据的读取。实验结果证明,与现有最优算法相比,该算法可获得更高的速度提升。     

B样条曲面重构中的轮廓匹配和分支问题

通过建立轮廓树,确定轮廓的内外属性以及轮廓之间的相互嵌套关系,并缩小轮廓匹配的搜索范围;在轮廓树的基础上,利用阈值半径寻找轮廓,确定相邻切片上轮廓的对应关系; 通过对轮廓树节点的数量及位置判断确定分支部位,利用加权补分法,进行母轮廓分割,并结合层间插值,解决分支问题,进行曲面重构.     

接近式光刻图形失真的部分相干光理论分析

光刻过程中由于光的衍射效应产生的非线性畸变对光刻面形质量具有严重影响，是造成光刻微结构图形失真的主要原因之一，为此，研究了接近式紫外光刻中部分相干光的传播过程，建立了相应的光刻理论模型，对光刻成像中的误差产生机理进行分析．该模型综合考虑光源和照明系统对掩模微结构附近光场相干性的影响，将光刻模拟分为3部分．首先根据VanCittert-Zernike定理确定了光源经扩束准直系统传播到蝇眼透镜入射面时光场上任2点的互强度．然后应用部分相干光的传播理论，由Hopkins公式得到部分相干光经蝇眼透镜传播到掩模平面后其上任一点对的复相干度的分布规律．最后根据互强度传播定律，分析从掩模面到光刻胶表面的衍射效应，得到光刻胶表面的光强分布及变化规律，并且通过误差的仿真分析模拟得到光刻胶图形轮廓．结果表明，理论模拟结果与实验较为吻合．该方法能准确地得到衍射光场的分布，进行光刻误差分析，从而能较好地发现曝光图形缺陷．     

图像复原中的模糊参数估计

图像复原技术在航空拍摄和机器视觉中是提高图像质量的重要手段.针对有相对运动情况的图像存在的降质模糊,分析了运动模糊的数学原理,针对不同运动模糊采取了不同去模糊方式.即先判断图像存在的运动模糊方式,针对直线运动通过Hough变换法和误差参数法相结合的方法估计降质参数,而对于旋转运动则采用曲线拟合和极坐标转换相结合的方法来估计降质参数.通过维纳滤波方法复原图像,提高图像质量.利用提出的自适应方法对直线运动模糊(参数为(30,70°))和旋转运动模糊(参数为(128,128),20°)分别作了实验计算.对比实验表明,这种由粗及精的方法能准确估计模糊参数,与传统处理方法相比,更加便捷有效.     

基于Web的虚拟设计中VRML实时模型的可交互处理方法

提出一种基于Web的虚拟设计系统的基本结构，对其中在Web页面上展示产品的VRML模型提出了一种可实时交互的处理方法，包括对VRML模型的可交互操作进行预定义、预定义的节点信息和数据库之间的逻辑关系以及根据预定义信息对VRML模型文件进行自动处理的相关算法，最后在系统原型中具体实现了该方法。     

三维微细光刻成型技术及其发展概况

简要介绍了三维先成型技术的原理以及现阶段可以用来进行微细加工的方法;着重介绍了微光成型技术的发展和研究现状及其成果。     

基于E-CBP的机电产品可持续概念设计方法

在传统概念设计方法的基础上,引入可持续设计理念,提出基于E-CBP(extended casual behavioral process)模型的可持续概念设计方法。通过对行为的特性研究,提出了相应的可持续设计指导原则。根据这些原则对E-CBP模型进行优化,并以电动抛光机为实例验证了该方法的可行性。