基于VxWorks辅助时钟的高速网络通信

为了满足对双工件台系统高精度、高可靠性的实时运动控制,本文研究并使用了VxWorks的高速辅助时钟和基于消息机制的套接字通信,并制定相应的上下位机通信协议。实践结果表明,采用这种通信方式和通信规则可以有效的实现数据的无丢失传输,达到了高可靠且高速网络通信的效果。     

光刻机工件台控制系统设计

本文针对光刻机工件台技术中所要求的指标,建立了系统的电机模型,设计出终端控制系统,采用三环控制策略,并进行了宏动跟微动的控制策略仿真,并且分析了控制系统的误差,在实际应用中取得了很好的效果。