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压阻式压力传感器的动态特性 总被引:2,自引:2,他引:0
综合分析了敏感元件构形与尺寸及传感器的封装结构对动态压力测量的影响。给出了几种CYG压阻式压力传感器在动态压力测量时的频响特性的理论计算值与实验值。 相似文献
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硅压阻式压力传感器的一种温度补偿方法及其应用 总被引:3,自引:3,他引:3
介绍了一种用压力一温度复合传感器对硅压阻式压力传感器温度特性的补偿方法。此电路设计简单,调节方便,在无人机上得到了应用。 相似文献
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介绍了外径为Ф 2 mm的超微型压力传感器芯片的设计与结构的封装.改微型传感器已成功用于空气动力学试验及生物医学,科学测试及研究中,尤其在高精度的流体动力学测试中,如风洞测试系统中,要求传感器不仅具有良好的动态特性,而且为了减少对测量流场的影响,提高测量的精度,对传感器的尺寸要求更加小型化. 相似文献
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介绍了一种MEMS硅压阻微差压传感器的力学敏感元件设计及无应力制造与封装技术.使用双岛梁膜结构,取得了很高的输出灵敏度及优良的线性度.合理的钝化层应力互补技术是无应力制造技术的核心.衬底强化设计和O型圈悬浮封装的巧妙结合实现了无应力封装.使用这些技术生产的微差压传感器已在多年的生产实践中和重大科研中成功应用. 相似文献
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木文介绍了两种硅压阻式压力传感器的新颍的制造工艺。文中讲述的芯片证明了一种重要的、新的硅-硅焊接工艺,即硅熔焊接(SFB)。利用这一工艺,单晶硅片能够以接近理想的界面被可靠地焊接起来,而不必利用过渡层。用SFB工艺制造的压力传感器比用常规工艺制造的传感器性能有很大的改善。SFB工艺还可以用于许多其它的微机械加工的结构件。 相似文献