多晶硅及有机硅工业副产物综合利用技术

介绍了我国多晶硅、三氯氢硅、有机硅单体工业的发展现状及其面临的问题--氯硅烷副产物的综合利用问题,提出利用氯硅烷在氢氧焰中进行高温水解缩聚反应,制备纳米级气相二氧化硅,这是既环保又经济的方法.它既解决氯硅烷副产物的出路问题,又能够真正实现节能减排,资源相互利用,对社会、经济和环保具有重大意义.     

基业长青

公元2013年6月6日—9日,全世界的媒体及民众聚焦美国加州,关注中国国家主席习近平与美国总统奥巴马的庄园会晤。与此同时,全世界的财经及企业界的目光聚焦中国四川成都——财富全球论坛在这里隆重举行。该论坛由美国“财富”杂志主办,目前已经举办了十二届,其中有四届在中国举办：分别是上海、香港、北京、成都。这足以说明中国在全球财经界的地位和“财富”杂志眼里的重要性。特别是“财富”杂志把第十二届论坛放在四川成都举行,充分说明以四川为代表的中国西部崛起已经对中国乃至全世界产生了重要影响,已经有238家世界500强落户的成都无疑是本届论坛的最大受益者和赢家。在5年内经历了两次强烈地震的四川人民和充满文化与智慧的成都人民,以一种既充满传统、又充分显示天赋的热情接待了来自世界500强的CEO、全世界的财经领袖及政要,成都之行一定给各位宾客留下极为深刻的印象和美好的回忆。本人作为“财富”杂志邀请的唯一中国创业板公司董事长全程参加了本次论坛,收获颇丰,感慨万千。     

电容式力平衡加速度计的设计

电容式微机械加速度计是一种将加速度转换成差分电容、通过检测差分电容的变化来检测加速度大小的一类高精度的惯性传感器.利用开关电容电路实现C-V变换,利用反馈静电力实现力平衡闭环控制,设计了一种电容式微机械加速度计.通过构建电容式加速度传感器及外围电路的数学模型,推导了闭环工作的系统函数.并对实际系统进行研制,最后给出了整个系统的测试结果.     

A 4 MHz Lamé mode microresonator-based oscil lator

A 4.13 MHz reference oscillator incor p orating a capacitive single-crystal-silicon(SCS) micromechanical resonator is prese nted.The microresonator is fabricated using a cavity-silicon-on-insulator(c avity-SOI) process and is excited in the Lamé mode with electrostatic driving and capacitive sensing.The Lamé mode may be described as a squ are plate that is contracting along one axis in the fabrication plane,while sim ultaneously extending along an orthogonal axis in the same plane.The microreson ator exhibits a quality factor as high as 1.4×106 and a resonant frequency of 4.13 MHz at a pressure of \{0.08 mbar.\} The output spectrum of the oscillator show s that the silicon micromechanical resonator is adapted as a timing element for a precision oscillator.     

氢氟酸和PSG牺牲层腐蚀的TDC模型

对不同结构,即直沟道结构、冒泡结构和组合沟道结构的氢氟酸牺牲层腐蚀进行了研究.以往的牺牲层腐蚀模型和实验结果不能很好地吻合.以往的模型和实验结果的误差随着腐蚀时间的增加而增大.本文提出了一个修正模型,在修正模型中：HF的扩散系数是浓度和温度的函数;腐蚀速率常数是温度的函数;此外还考虑了腐蚀产物对腐蚀过程的影响.对于组合沟道结构,对腐蚀前端形状的描述采用了一个新的数学模型.实验结果和以往的模型以及修正模型进行了对比,结果表明修正模型能够和实验结果吻合得很好.     

梳齿的不平行对电容式微机械传感器阶跃信号响应的影响

分析了梳齿电容式传感器在三种电容驱动方式下,梳齿电容极板的不平行对传感器受到阶跃加速度信号作用时可靠工作条件的影响。得到了梳齿倾斜效应对传感器阶跃加速度响应影响的分析模型。结果表明梳齿电容在同样的电压驱动下,若电容极板的倾斜角变到0.5°时,对于单边电容结构、双边电容结构和有力反馈的双边电容结构,传感器能够承受的临界阶跃加速度分别变为电容极板完全平行时的0.34、0.44、0.52。并针对DRIE工艺刻蚀梳齿的原理,讨论了改进梳齿不平行的方法。     

基于SOI材料的刻蚀光栅分波器的制作工艺

研究了基于绝缘材料上的硅（SOI）材料的平面波导刻蚀光栅分波器的主要制作工艺．利用电感耦合等离子体刻蚀（ICP）技术，在SOI材料上制作了垂直度大于89°的光滑的光栅槽面．氧化抛光后刻蚀侧壁的表面均方根粗糙度（RMS）有3nm的改善，达到7.27nm（采样面积6.2μm×26μm）．通过采用集成波导拐弯微镜代替弯曲波导使1×4分波器的器件尺寸仅为20mm×2.5mm．测试结果表明器件实现了分波功能．     

国内外硅酮建筑密封胶发展概况

1 有机硅材料的结构,特性及分类 有机硅(又俗称为硅酮)材料是以—(Si—O)n—为主链结构的新型合成高分子材料,它的si—O键能比普通合成材料中的C—C和C—O键能高出近三分之一,同时每个硅原子上还带有两个有机团,使其有半无机和半有机材料的特性,具有一系列优异的综合性能,为其他合成高分子材料所不能比     

传感器Q值对加速度计量化噪声的影响

高品质因数（Q）的加速度计因其具有较低的机械热噪声而适合高性能的振动检测,但Q值过高会带来接口电路的不稳定。为了充分利用传感器的特性优化Sigma．Delta（∑△）数字接口电路设计,通过分析加速度计的数字接口电路模型,验证了Q值的变化对数字量化噪声的影响,并且适当的Q值能降低数字接口电路基带内的量化噪声。设计和测试了基于三明治加速度计的PCB板级电路,测试结果表明：传感器的高Q特性会在基带引入一对共轭零点,抑制了基带内的量化噪声。     

充油型脱醇型硅酮密封胶性能研究

研究了甲基硅油、低分子量聚丁烯、氢化烷烃油作为增塑剂用于脱醇型RTV-1硅酮胶对其性能的影响。结果表明:甲基硅油增塑剂对降低模量、提高位移能力效果明显;聚丁烯与聚硅氧烷相容性差,影响与基材的界面粘接;少量添加烷烃油能起到与甲基硅油类似的效果,但热失重超过10%,添加量增加对基材的粘结性变差,其它性能也大幅降低。