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扭摆式硅微加速度计的研究 总被引:4,自引:1,他引:3
扭摆式硅微加速度计量种用于测量运动物体加速度的微型惯性器件,在许多领域都有极其广泛的应用,是当今微米/纳米技术发展的一个主要方向。本文论述了结构组成,分析工作机理,探讨了提高灵敏度的途径,最后给出了制造工艺和测试结果。 相似文献
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本文介绍了采用PWM静电伺服技术的微型角速度传感器的结构组成,分析了其工作机理,提出了其基本的检测原理。采用PWM检测技术,使微弱、低频信号的高精度检测成为现实。 相似文献
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微机械振动陀螺仪的误差分析 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍了微机械振动陀螺仪的结构特点及工作机理,建立了其力学模型,并在此基础上,对原理误差进行了定性的分析,得出了影响精度的主要干扰源,为误差的补偿指明了方向。 相似文献
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微机械双框架陀螺仪的机理研究 总被引:2,自引:1,他引:1
微机械双框架陀螺仪是一种用于测量运动物体角速度的微型惯性器件。由于其尺寸的大幅度减少,使它在许多领域都有极其广泛的应用,是当今微米/纳米技术发展的一个主要方向。介绍了该陀螺仪的结构组成与工作机理,建立其力学模型,并在此基础上,主要对原理误差进行了定性的分析,得出了影响其精度的主要干扰源,为误差的补偿指明了方向。 相似文献
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】扭摆式微加速度传感器是一种用于测量运动物体加速度的微型传感器,在许多领域都有极其广泛的应用,是当今微米/纳米技术发展的一个主要方向。文章论述了其结构组成,分析了其工作机理,给出了其设计原则和加工工艺,最后通过实例验证了该设计方法的适用性。 相似文献
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本文介绍了汽车驾驶模拟器的系统组成,初步研究了路面生成技术、远近景处理技术以及其它图象处理技术,并提出了有待进一步研究的问题。 相似文献
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