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基于厚膜技术E型三维加速度传感器的设计 总被引:10,自引:0,他引:10
提出采用厚膜技术设计一种一体化三维加速度传感器,其采用了E型结构和特殊和维间耦合问题。由于E型结构的对称性,使得所设计的三维加速度传感器在低量程,高灵敏度应用场合中具有良好的特性。 相似文献
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1. IntroductionDuring the last two decades, there have been remarkable research and development activities aimedat the realization of optical sensors for measurementof chemical and biological quantities. A large variety of optical methods have been used in chemicalsensors and biosensor including ellipsometry, spectroscopy (luminescence, phosphorescence, fluorescencej Raman ), spectroscopy of guided modes inoptical waveguide structures (grating coupler, resonant mirror ), and surface plasmon re… 相似文献
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网络化智能传感器/执行器的设计及接口标准IEEEl451.2 总被引:7,自引:0,他引:7
文中介绍了国际电器电子工程师协会IEEE组织针对智能网络化变送器(传感器/执行器)而制定的接口标准IEEEl451产生的背景、历史和优越性,介绍了兼容各种现场总线标准的智能网络化传感器系统的组成。特别是针对其中的mEEl451.2部分做了较为详细的叙述,对其规定的技术特征数字接口、变送器模型、TEDS内容、STIM的典型结构以及传感器校准方法模型等分别作了介绍,并给出典型的网络应用结构。 相似文献
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微机械加工技术与微传感器 总被引:1,自引:0,他引:1
传感技术的一个重要发展方向是传感器的微型化,微机械加工技术同昌硅微传感器的基础工艺技术,也是制作微执行器和微电子机械系统的基础工艺技术。本介绍微机械加工技术的概况以及采用微机械加工技术研制的几种微传感器。 相似文献