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针对微系统小型化集成对高性能成膜基板需求,研究了基于LTCC基板的BCB/Cu薄膜多层互连关键技术及过程控制要求。提出一种高可靠"T"型界面互连方式的薄膜磁控溅射Cr/Cu/Cr和Cr/Pd/Au复合膜层结构及其制备方法。研究了LTCC基板收缩率偏差、LTCC-薄膜界面缺陷及粗糙度、BCB介质膜固化应力、介质膜金属化的应力等因素对厚薄膜混合基板质量的影响。制备的12层厚薄膜混合基板(10层LTCC基板,2层薄膜布线) 60片,100%全部通过GJB2438 C.2.7成膜基片评价考核要求,相比LTCC基板,布线密度提高4倍,尺寸缩小40%。 相似文献
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目的探讨金刚石表面真空镀镍的影响因素及其在电镀金刚石线上应用的可行性。方法采用不同的镍源及EDTA二钠、有机酸、氧化铝,按照不同的配比配制镀液,在720℃、真空度6×10?2 Pa条件下镀覆,保温2.5h,通过粒度分析、快速振动球磨机、能谱分析、三维数字显微镜、磁性测试、镀层快速腐蚀测试等表征手段,探讨不同的工艺对金刚石表面镀层性能的影响。结果镀覆后,金刚石中心粒径D50和峰宽(峰宽D95-D5,中心粒径D50是粒度分布曲线中累积分布为50%时的最大颗粒的等效直径,D5、D95分别是分布曲线中累积分布为5%、95%时的最大颗粒的等效直径)随着氯化镍含量的增加而增大,随着EDTA二钠含量的增加而减小。有机酸对镀覆反应的促进为:柠檬酸氯乙酸乳酸。通过真空镀镍获得的镀层表面为镍金属层,具有磁性。金刚石的强度没有受到石墨化的影响而下降,镀层与金刚石之间结合较为牢固,且耐酸液腐蚀性能远好于化学镀镍。以氯化镍为镍源的真空镀镍金刚石,采用埋砂法在电镀金刚石线设备进行上砂测试,在10m/min的走线速度下,0.4mm长度钢线表面的金刚石约60颗,约为化学镀镍金刚石上砂颗粒数的30%。结论通过真空镀覆方式能够在金刚石表面沉积金属镍层,经初步测试,可以在电镀金刚石线中使用。 相似文献
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(二)建立风景园林信息系统的计算机软件设计构想 我们对整个系统的基本结构框架和其中各个功能模块做了较为详细的讨论。但要在计算机上实现所讨论的各种功能,就要研制开发相应的计算机软件包,我们称之为风景园林综合信息系统(Landscape Architecture Multimedia Information System,简称LAMIS)。这一工作将是相当艰巨繁重的,必须对其进行合理的结构涉及才能产生最实用、最有效的结果。 首先,整个软件应采现在多媒体技术中流行的WINDOWS风格,使用户界面最直观、友善,这 相似文献
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车辆曲线通过动力特性探讨 总被引:1,自引:0,他引:1
根据蠕滑理论,对车辆曲线通过的动力特性进行了分析,得出了车辆曲线通过时,横向的动力特性主要受离心力影响的结论,指出通过合理的超高设置来充分发挥离心力的作用,从而保证车辆曲线通过的安全性。 相似文献
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赵涛 《建设科技(建设部)》2003,(Z1)
本文以常熟城市入口景观设计方案为例,在充分理解城市总体规划与城市特有的空间形态与格局的前提条件下,尝试性地提出在城市入口景观设计中应注意的几个设计理念与方法,说明城市空间形态特征与文化脉络在城市入口景观设计中具有决定性的影响与作用。 相似文献
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