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文中介绍了一种用于测量运动物体角度速度的微机构角速度传感器,包括其结构组成,工作机理,运动方程,制作工艺以及测试结果。由于其尺寸的大幅度减小,使它在许多领域都有极其广泛的应用,是当今微米/纳米技术发展的一个主要方向。 相似文献
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微机械双框架陀螺仪的机理研究 总被引:2,自引:1,他引:1
微机械双框架陀螺仪是一种用于测量运动物体角速度的微型惯性器件。由于其尺寸的大幅度减少,使它在许多领域都有极其广泛的应用,是当今微米/纳米技术发展的一个主要方向。介绍了该陀螺仪的结构组成与工作机理,建立其力学模型,并在此基础上,主要对原理误差进行了定性的分析,得出了影响其精度的主要干扰源,为误差的补偿指明了方向。 相似文献
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