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采用射频磁控溅射法制备了氧化铟锡[ITO,In2O3:SnO2=90:10(质量比)]薄膜,详细探讨了溅射气氛氧氩体积比、溅射功率及溅射气压对ITO薄膜电阻率和沉积速率的影响。结果表明:溅射工艺参数对ITO薄膜电阻率和沉积速率的影响十分明显。随着氧氩体积比的增大,样品的电阻率显著增大,沉积速率下降;随着溅射功率的增加,ITO薄膜的电阻率先减小后略微增大,沉积速率上升;随着溅射气压升高,ITO薄膜的电阻率先减小后增大,当溅射气压增大到较大值时,ITO薄膜的电阻率又开始减小,而沉积速率则先上升后下降。 相似文献
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陈寅之 《电子元器件与信息技术》2022,(4):191-194
传感器作为机电自动化控制系统的重要构成部分,同样在机电自动化控制整体布局中有着极其重要的地位,其以广泛的应用范围被广大人民群众所熟知,主要以计算机技术为基准,能对各类信息数据进行加工以及处理作业。现如今,传感器已然成了我国高新电子科技的主要核心内容,通常情况下,不仅能够为我国科技发展奠定良好基础,还能促使我国社会经济实现可持续发展。因此,企业应了解并掌握传感器的重要意义,根据自身的实际发展情况,合理运用传感器技术,从而保证企业最终获得的经济收益能够得到进一步提升。基于此,本文主要分析了传感器技术的现状,详细说明了传感器技术在机电自动化控制中的重要意义,并分析了传感器技术在机电自动化管控中的具体应用。 相似文献
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